MOS বা SBD এর জন্য 4 ইঞ্চি SiC Epi ওয়েফার
এপিটাক্সি বলতে সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে উচ্চ মানের একক স্ফটিক উপাদানের একটি স্তরের বৃদ্ধি বোঝায়।তাদের মধ্যে, আধা-অন্তরক সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটে গ্যালিয়াম নাইট্রাইড এপিটাক্সিয়াল স্তরের বৃদ্ধিকে বলা হয় ভিন্নধর্মী এপিটাক্সি;একটি পরিবাহী সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে একটি সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সিয়াল স্তরের বৃদ্ধিকে সমজাতীয় এপিটাক্সি বলা হয়।
Epitaxial প্রধান কার্যকরী স্তর বৃদ্ধির ডিভাইস নকশা প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী, মূলত চিপ এবং ডিভাইসের কর্মক্ষমতা নির্ধারণ করে, 23% খরচ।এই পর্যায়ে SiC থিন ফিল্ম এপিটাক্সির প্রধান পদ্ধতিগুলির মধ্যে রয়েছে: রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), মলিকুলার বিম এপিটাক্সি (MBE), লিকুইড ফেজ এপিটাক্সি (LPE), এবং পালসড লেজার ডিপোজিশন এবং পরমানন্দ (PLD)।
Epitaxy সমগ্র শিল্পে একটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ লিঙ্ক।আধা-অন্তরক সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের উপর GaN এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলি বৃদ্ধি করে, সিলিকন কার্বাইডের উপর ভিত্তি করে GaN এপিটাক্সিয়াল ওয়েফার তৈরি করা হয়, যা আরও উচ্চ ইলেক্ট্রন গতিশীলতা ট্রানজিস্টর (HEMTs) এর মতো GaN RF ডিভাইসে তৈরি করা যেতে পারে;
সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সিয়াল ওয়েফার পেতে পরিবাহী সাবস্ট্রেটের উপর সিলিকন কার্বাইড এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি করে এবং স্কোটকি ডায়োড, সোনা-অক্সিজেন হাফ-ফিল্ড ইফেক্ট ট্রানজিস্টর, ইনসুলেটেড গেট বাইপোলার ট্রানজিস্টর এবং অন্যান্য পাওয়ার ডিভাইস তৈরিতে এপিটাক্সিয়াল স্তরে, তাই এর গুণমান। ডিভাইসের কর্মক্ষমতা উপর epitaxial শিল্পের উন্নয়নের উপর খুব বড় প্রভাব একটি খুব গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করছে.
বিস্তারিত চিত্র
![asd (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-110.jpg)
![asd (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-25.png)