8 ইঞ্চি SiC প্রোডাকশন গ্রেড ওয়েফার 4H-N SiC সাবস্ট্রেট
নিম্নলিখিত টেবিলটি আমাদের 8 ইঞ্চি SiC ওয়েফারের বৈশিষ্ট্যগুলি দেখায়:
8 ইঞ্চি এন-টাইপ SiC DSP স্পেক্স | |||||
সংখ্যা | আইটেম | ইউনিট | উৎপাদন | গবেষণা | ডামি |
1: পরামিতি | |||||
1.1 | পলিটাইপ | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | পৃষ্ঠ অভিযোজন | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2: বৈদ্যুতিক পরামিতি | |||||
2.1 | ডোপ্যান্ট | -- | n-টাইপ নাইট্রোজেন | n-টাইপ নাইট্রোজেন | n-টাইপ নাইট্রোজেন |
2.2 | প্রতিরোধ ক্ষমতা | ওহম · সেমি | ০.০১৫~০.০২৫ | ০.০১~০.০৩ | NA |
3:যান্ত্রিক পরামিতি | |||||
3.1 | ব্যাস | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | বেধ | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | খাঁজ অভিযোজন | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | খাঁজ গভীরতা | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | এলটিভি | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
3.6 | টিটিভি | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | নম | μm | -25~25 | -৪৫~৪৫ | -65~65 |
3.8 | ওয়ার্প | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | এএফএম | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
4:গঠন | |||||
4.1 | মাইক্রোপাইপ ঘনত্ব | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | ধাতু বিষয়বস্তু | পরমাণু/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | টিএসডি | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | বিপিডি | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. সামনের গুণমান | |||||
5.1 | সামনে | -- | Si | Si | Si |
5.2 | পৃষ্ঠ সমাপ্তি | -- | সি-ফেস সিএমপি | সি-ফেস সিএমপি | সি-ফেস সিএমপি |
5.3 | কণা | ea/wafer | ≤100(আকার≥0.3μm) | NA | NA |
5.4 | আঁচড় | ea/wafer | ≤5, মোট দৈর্ঘ্য≤200 মিমি | NA | NA |
5.5 | প্রান্ত চিপস/ইন্ডেন্টস/ফাটল/দাগ/দূষণ | -- | কোনোটিই নয় | কোনোটিই নয় | NA |
5.6 | পলিটাইপ এলাকা | -- | কোনোটিই নয় | এলাকা ≤10% | এলাকা ≤30% |
৫.৭ | সামনে চিহ্নিতকরণ | -- | কোনোটিই নয় | কোনোটিই নয় | কোনোটিই নয় |
6:ব্যাক কোয়ালিটি | |||||
6.1 | ফিরে শেষ | -- | মুখের সাংসদ | মুখের সাংসদ | মুখের সাংসদ |
6.2 | আঁচড় | mm | NA | NA | NA |
6.3 | পিছনে ত্রুটি প্রান্ত চিপস/ইন্ডেন্ট | -- | কোনোটিই নয় | কোনোটিই নয় | NA |
6.4 | পিঠের রুক্ষতা | nm | রা≤5 | রা≤5 | রা≤5 |
6.5 | পিছনে চিহ্নিতকরণ | -- | খাঁজ | খাঁজ | খাঁজ |
7: প্রান্ত | |||||
7.1 | প্রান্ত | -- | চেম্ফার | চেম্ফার | চেম্ফার |
8: প্যাকেজ | |||||
8.1 | প্যাকেজিং | -- | ভ্যাকুয়াম সহ এপি-প্রস্তুত প্যাকেজিং | ভ্যাকুয়াম সহ এপি-প্রস্তুত প্যাকেজিং | ভ্যাকুয়াম সহ এপি-প্রস্তুত প্যাকেজিং |
8.2 | প্যাকেজিং | -- | মাল্টি-ওয়েফার ক্যাসেট প্যাকেজিং | মাল্টি-ওয়েফার ক্যাসেট প্যাকেজিং | মাল্টি-ওয়েফার ক্যাসেট প্যাকেজিং |
বিস্তারিত চিত্র
এখানে আপনার বার্তা লিখুন এবং আমাদের পাঠান