সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার রিং-কাটিং সরঞ্জামের কাজের আকার 8 ইঞ্চি/12 ইঞ্চি ওয়েফার রিং কাটিং
প্রযুক্তিগত পরামিতি
প্যারামিটার | ইউনিট | স্পেসিফিকেশন |
সর্বোচ্চ ওয়ার্কপিস আকার | mm | ø১২" |
স্পিন্ডল | কনফিগারেশন | একক স্পিন্ডল |
গতি | ৩,০০০-৬০,০০০ আরপিএম | |
আউটপুট শক্তি | ৩০,০০০ মিনিটে ১.৮ কিলোওয়াট (২.৪ ঐচ্ছিক)⁻¹ | |
সর্বোচ্চ ব্লেড দিয়া। | Ø৫৮ মিমি | |
এক্স-অক্ষ | কাটার পরিসর | ৩১০ মিমি |
Y-অক্ষ | কাটার পরিসর | ৩১০ মিমি |
ধাপ বৃদ্ধি | ০.০০০১ মিমি | |
অবস্থান নির্ভুলতা | ≤0.003 মিমি/310 মিমি, ≤0.002 মিমি/5 মিমি (একক ত্রুটি) | |
Z-অক্ষ | আন্দোলনের সমাধান | ০.০০০৫ মিমি |
পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | ০.০০১ মিমি | |
θ-অক্ষ | সর্বোচ্চ ঘূর্ণন | ৩৮০ ডিগ্রি |
স্পিন্ডল টাইপ | একক স্পিন্ডেল, রিং কাটার জন্য শক্ত ব্লেড দিয়ে সজ্জিত | |
রিং-কাটিং নির্ভুলতা | মাইক্রোমিটার | ±৫০ |
ওয়েফার পজিশনিং নির্ভুলতা | মাইক্রোমিটার | ±৫০ |
একক-ওয়েফার দক্ষতা | মিনিট/ওয়েফার | 8 |
মাল্টি-ওয়েফার দক্ষতা | একসাথে ৪টি পর্যন্ত ওয়েফার প্রক্রিয়াজাত করা যাবে | |
সরঞ্জামের ওজন | kg | ≈৩,২০০ |
সরঞ্জামের মাত্রা (W×D×H) | mm | ২,৭৩০ × ১,৫৫০ × ২,০৭০ |
পরিচালনা নীতি
এই মূল প্রযুক্তির মাধ্যমে সিস্টেমটি ব্যতিক্রমী ট্রিমিং কর্মক্ষমতা অর্জন করে:
১. বুদ্ধিমান গতি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা:
· উচ্চ-নির্ভুলতা রৈখিক মোটর ড্রাইভ (পুনরাবৃত্তি অবস্থান নির্ভুলতা: ±0.5μm)
· জটিল গতিপথ পরিকল্পনা সমর্থনকারী ছয়-অক্ষের সমলয় নিয়ন্ত্রণ
· রিয়েল-টাইম কম্পন দমন অ্যালগরিদম যা কাটার স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে
২. উন্নত সনাক্তকরণ ব্যবস্থা:
· ইন্টিগ্রেটেড 3D লেজার উচ্চতা সেন্সর (নির্ভুলতা: 0.1μm)
· উচ্চ-রেজোলিউশনের সিসিডি ভিজ্যুয়াল পজিশনিং (৫ মেগাপিক্সেল)
· অনলাইন মান পরিদর্শন মডিউল
৩. সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় প্রক্রিয়া:
· স্বয়ংক্রিয় লোডিং/আনলোডিং (FOUP স্ট্যান্ডার্ড ইন্টারফেস সামঞ্জস্যপূর্ণ)
· বুদ্ধিমান বাছাই ব্যবস্থা
· ক্লোজড-লুপ ক্লিনিং ইউনিট (পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা: দশম শ্রেণী)
সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন
এই সরঞ্জামগুলি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে উল্লেখযোগ্য মূল্য প্রদান করে:
আবেদন ক্ষেত্র | প্রক্রিয়া উপকরণ | প্রযুক্তিগত সুবিধা |
আইসি ম্যানুফ্যাকচারিং | ৮/১২" সিলিকন ওয়েফার | লিথোগ্রাফি সারিবদ্ধতা উন্নত করে |
পাওয়ার ডিভাইস | SiC/GaN ওয়েফার | প্রান্তের ত্রুটি প্রতিরোধ করে |
MEMS সেন্সর | SOI ওয়েফার | ডিভাইসের নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে |
আরএফ ডিভাইস | গাএএস ওয়েফার্স | উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি কর্মক্ষমতা উন্নত করে |
উন্নত প্যাকেজিং | পুনর্গঠিত ওয়েফার | প্যাকেজিং এর উৎপাদন বৃদ্ধি করে |
ফিচার
1. উচ্চ প্রক্রিয়াকরণ দক্ষতার জন্য চার-স্টেশন কনফিগারেশন;
2. স্থিতিশীল TAIKO রিং ডিবন্ডিং এবং অপসারণ;
3. মূল ভোগ্যপণ্যের সাথে উচ্চ সামঞ্জস্যতা;
৪. মাল্টি-অক্ষ সিঙ্ক্রোনাস ট্রিমিং প্রযুক্তি নির্ভুল প্রান্ত কাটা নিশ্চিত করে;
৫. সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় প্রক্রিয়া প্রবাহ শ্রম খরচ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে;
৬. কাস্টমাইজড ওয়ার্কটেবল ডিজাইন বিশেষ কাঠামোর স্থিতিশীল প্রক্রিয়াকরণ সক্ষম করে;
ফাংশন
১. রিং-ড্রপ সনাক্তকরণ ব্যবস্থা;
2. স্বয়ংক্রিয় ওয়ার্কটেবল পরিষ্কার;
৩. বুদ্ধিমান UV ডিবন্ডিং সিস্টেম;
৪.অপারেশন লগ রেকর্ডিং;
৫.কারখানা অটোমেশন মডিউল ইন্টিগ্রেশন;
সেবার প্রতিশ্রুতি
XKH আপনার উৎপাদন যাত্রা জুড়ে সরঞ্জামের কর্মক্ষমতা এবং পরিচালনাগত দক্ষতা সর্বাধিক করার জন্য ডিজাইন করা ব্যাপক, পূর্ণাঙ্গ জীবনচক্র সহায়তা পরিষেবা প্রদান করে।
1. কাস্টমাইজেশন পরিষেবা
· উপযুক্ত সরঞ্জাম কনফিগারেশন: আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিম নির্দিষ্ট উপাদান বৈশিষ্ট্য (Si/SiC/GaAs) এবং প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে সিস্টেম প্যারামিটারগুলি (কাটিং গতি, ব্লেড নির্বাচন, ইত্যাদি) অপ্টিমাইজ করার জন্য ক্লায়েন্টদের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সহযোগিতা করে।
· প্রক্রিয়া উন্নয়ন সহায়তা: আমরা প্রান্ত রুক্ষতা পরিমাপ এবং ত্রুটি ম্যাপিং সহ বিস্তারিত বিশ্লেষণ প্রতিবেদন সহ নমুনা প্রক্রিয়াকরণ অফার করি।
· ভোগ্যপণ্যের সহ-উন্নয়ন: নতুন উপকরণের (যেমন, Ga₂O₃) জন্য, আমরা অ্যাপ্লিকেশন-নির্দিষ্ট ব্লেড/লেজার অপটিক্স তৈরির জন্য নেতৃস্থানীয় ভোগ্যপণ্য নির্মাতাদের সাথে অংশীদারিত্ব করি।
2. পেশাদার প্রযুক্তিগত সহায়তা
· সাইটে নিবেদিতপ্রাণ সহায়তা: গুরুত্বপূর্ণ র্যাম্প-আপ পর্যায়ের জন্য (সাধারণত ২-৪ সপ্তাহ) সার্টিফাইড ইঞ্জিনিয়ারদের নিয়োগ করুন, যার মধ্যে রয়েছে:
সরঞ্জামের ক্রমাঙ্কন এবং প্রক্রিয়ার সূক্ষ্ম সমন্বয়
অপারেটর দক্ষতা প্রশিক্ষণ
ISO ক্লাস ৫ ক্লিনরুম ইন্টিগ্রেশন নির্দেশিকা
· ভবিষ্যদ্বাণীমূলক রক্ষণাবেক্ষণ: অপরিকল্পিত ডাউনটাইম প্রতিরোধের জন্য কম্পন বিশ্লেষণ এবং সার্ভো মোটর ডায়াগনস্টিক সহ ত্রৈমাসিক স্বাস্থ্য পরীক্ষা।
· দূরবর্তী পর্যবেক্ষণ: স্বয়ংক্রিয় অ্যানোমালি সতর্কতা সহ আমাদের IoT প্ল্যাটফর্ম (JCFront Connect®) এর মাধ্যমে রিয়েল-টাইম সরঞ্জামের কর্মক্ষমতা ট্র্যাকিং।
৩. মূল্য সংযোজন পরিষেবা
· প্রক্রিয়া জ্ঞানের ভিত্তি: বিভিন্ন উপকরণের জন্য 300+ বৈধ কাটিং রেসিপি অ্যাক্সেস করুন (ত্রৈমাসিক আপডেট করা হয়)।
· প্রযুক্তি রোডম্যাপ অ্যালাইনমেন্ট: হার্ডওয়্যার/সফ্টওয়্যার আপগ্রেড পাথ (যেমন, এআই-ভিত্তিক ত্রুটি সনাক্তকরণ মডিউল) দিয়ে আপনার বিনিয়োগকে ভবিষ্যতের জন্য সুরক্ষিত করুন।
· জরুরি প্রতিক্রিয়া: ৪ ঘন্টা দূরবর্তী রোগ নির্ণয় এবং ৪৮ ঘন্টা অন-সাইট হস্তক্ষেপের নিশ্চয়তা (বিশ্বব্যাপী কভারেজ)।
৪. পরিষেবা পরিকাঠামো
· কর্মক্ষমতা গ্যারান্টি: SLA-সমর্থিত প্রতিক্রিয়া সময়ের সাথে ≥98% সরঞ্জাম আপটাইমের জন্য চুক্তিবদ্ধ প্রতিশ্রুতি।
ক্রমাগত উন্নতি
আমরা দ্বিবার্ষিকভাবে গ্রাহক সন্তুষ্টি জরিপ পরিচালনা করি এবং পরিষেবা সরবরাহ উন্নত করার জন্য কাইজেন উদ্যোগ বাস্তবায়ন করি। আমাদের গবেষণা ও উন্নয়ন দল ক্ষেত্রের অন্তর্দৃষ্টিগুলিকে সরঞ্জাম আপগ্রেডে রূপান্তরিত করে - ফার্মওয়্যার উন্নতির 30% ক্লায়েন্ট প্রতিক্রিয়া থেকে আসে।

