সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট আধা-অন্তরক প্রকার এবং পরিবাহী প্রকারে বিভক্ত। বর্তমানে, সেমি-ইনসুলেটেড সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট পণ্যগুলির মূলধারার স্পেসিফিকেশন 4 ইঞ্চি। পরিবাহী সিলিকন কার্বাইড বাজারে, বর্তমান মূলধারার সাবস্ট্রেট পণ্যের স্পেসিফিকেশন 6 ইঞ্চি।
আরএফ ফিল্ডে ডাউনস্ট্রিম অ্যাপ্লিকেশনের কারণে, আধা-অন্তরক SiC সাবস্ট্রেট এবং এপিটাক্সিয়াল উপকরণগুলি ইউএস ডিপার্টমেন্ট অফ কমার্স দ্বারা রপ্তানি নিয়ন্ত্রণের বিষয়। সাবস্ট্রেট হিসাবে সেমি-ইনসুলেটেড SiC হল GaN heteroepitaxy-এর জন্য পছন্দের উপাদান এবং মাইক্রোওয়েভ ক্ষেত্রে গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োগের সম্ভাবনা রয়েছে। নীলকান্তমণি 14% এবং Si 16.9%-এর ক্রিস্টাল অমিলের সাথে তুলনা করে, SiC এবং GaN উপকরণগুলির স্ফটিক অমিল মাত্র 3.4%। SiC-এর অতি-উচ্চ তাপ পরিবাহিতা সহ, উচ্চ শক্তি দক্ষতা LED এবং GaN উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি এবং এটি দ্বারা প্রস্তুত উচ্চ শক্তির মাইক্রোওয়েভ ডিভাইসগুলির রাডার, উচ্চ শক্তির মাইক্রোওয়েভ সরঞ্জাম এবং 5G যোগাযোগ ব্যবস্থায় দুর্দান্ত সুবিধা রয়েছে।
সেমি-ইনসুলেটেড SiC সাবস্ট্রেটের গবেষণা ও উন্নয়ন সবসময়ই SiC একক ক্রিস্টাল সাবস্ট্রেটের গবেষণা ও উন্নয়নের কেন্দ্রবিন্দু হয়েছে। আধা-অন্তরক SiC উপকরণ বৃদ্ধিতে দুটি প্রধান অসুবিধা রয়েছে:
1) গ্রাফাইট ক্রুসিবল, তাপ নিরোধক শোষণ এবং পাউডারে ডোপিং দ্বারা প্রবর্তিত N দাতা অমেধ্য হ্রাস করুন;
2) স্ফটিকের গুণমান এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলি নিশ্চিত করার সময়, বৈদ্যুতিক কার্যকলাপের সাথে অবশিষ্ট অগভীর স্তরের অমেধ্যগুলিকে ক্ষতিপূরণ দেওয়ার জন্য একটি গভীর স্তর কেন্দ্র চালু করা হয়।
বর্তমানে, সেমি-ইনসুলেটেড SiC উত্পাদন ক্ষমতা সহ নির্মাতারা প্রধানত SICC কো, সেমিসিক ক্রিস্টাল কো, ট্যাঙ্ক ব্লু কো, হেবেই সিনলাইট ক্রিস্টাল কোং, লিমিটেড।
পরিবাহী SiC স্ফটিক ক্রমবর্ধমান বায়ুমণ্ডলে নাইট্রোজেন ইনজেকশন দ্বারা অর্জন করা হয়। পরিবাহী সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট প্রধানত পাওয়ার ডিভাইস, উচ্চ ভোল্টেজ, উচ্চ কারেন্ট, উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি, কম ক্ষতি এবং অন্যান্য অনন্য সুবিধা সহ সিলিকন কার্বাইড পাওয়ার ডিভাইস তৈরিতে ব্যবহৃত হয়, সিলিকন ভিত্তিক পাওয়ার ডিভাইসের শক্তির বিদ্যমান ব্যবহারকে ব্যাপকভাবে উন্নত করবে। রূপান্তর দক্ষতা, দক্ষ শক্তি রূপান্তরের ক্ষেত্রে একটি উল্লেখযোগ্য এবং সুদূরপ্রসারী প্রভাব রয়েছে। প্রধান প্রয়োগের ক্ষেত্রগুলি হল বৈদ্যুতিক যান/চার্জিং পাইলস, ফটোভোলটাইক নিউ এনার্জি, রেল ট্রানজিট, স্মার্ট গ্রিড ইত্যাদি। যেহেতু পরিবাহী পণ্যগুলির নিম্নধারাটি মূলত বৈদ্যুতিক যানবাহন, ফটোভোলটাইক এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে পাওয়ার ডিভাইস, তাই প্রয়োগের সম্ভাবনা আরও বিস্তৃত এবং নির্মাতারা আরও অসংখ্য।
সিলিকন কার্বাইড স্ফটিক প্রকার: সেরা 4H স্ফটিক সিলিকন কার্বাইডের সাধারণ কাঠামো দুটি বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে, একটি হল কিউবিক সিলিকন কার্বাইড স্ফ্যালেরাইট কাঠামোর স্ফটিক প্রকার, যা 3C-SiC বা β-SiC নামে পরিচিত, এবং অন্যটি ষড়ভুজ। বা বৃহৎ সময়ের কাঠামোর হীরার গঠন, যা সাধারণত 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, ইত্যাদি, সম্মিলিতভাবে α-SiC নামে পরিচিত। 3C-SiC এর উত্পাদন ডিভাইসে উচ্চ প্রতিরোধ ক্ষমতার সুবিধা রয়েছে। যাইহোক, Si এবং SiC ল্যাটিস ধ্রুবক এবং তাপ সম্প্রসারণ সহগগুলির মধ্যে উচ্চ অমিল 3C-SiC এপিটাক্সিয়াল স্তরে প্রচুর পরিমাণে ত্রুটির কারণ হতে পারে। 4H-SiC-এর MOSFETs তৈরির প্রচুর সম্ভাবনা রয়েছে, কারণ এর স্ফটিক বৃদ্ধি এবং এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধির প্রক্রিয়াগুলি আরও দুর্দান্ত, এবং ইলেকট্রন গতিশীলতার ক্ষেত্রে, 4H-SiC 3C-SiC এবং 6H-SiC থেকে বেশি, যা 4H-এর জন্য আরও ভাল মাইক্রোওয়েভ বৈশিষ্ট্য সরবরাহ করে। -SIC MOSFETs।
যদি লঙ্ঘন হয়, যোগাযোগ মুছে ফেলুন
পোস্টের সময়: Jul-16-2024