ওয়েফার ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে এসপিসি সিস্টেমের গভীর বোঝাপড়া

1. SPC সিস্টেমের ওভারভিউ

SPC হল একটি পদ্ধতি যা পরিসংখ্যানগত কৌশল ব্যবহার করে উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলি নিরীক্ষণ এবং নিয়ন্ত্রণ করে। এর মূল কাজ হল রিয়েল-টাইম ডেটা সংগ্রহ এবং বিশ্লেষণ করে, প্রকৌশলীদের সময়মত সমন্বয় এবং সিদ্ধান্ত নিতে সাহায্য করে উত্পাদন প্রক্রিয়ার অসঙ্গতিগুলি সনাক্ত করা। SPC-এর লক্ষ্য হল উৎপাদন প্রক্রিয়ার বৈচিত্র্য হ্রাস করা, পণ্যের গুণমান স্থিতিশীল থাকা এবং নির্দিষ্টকরণগুলি পূরণ করা নিশ্চিত করা।

এসপিসি এচিং প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়:

ক্রিটিক্যাল ইকুইপমেন্ট প্যারামিটার (যেমন, এচ রেট, আরএফ পাওয়ার, চেম্বারের চাপ, তাপমাত্রা ইত্যাদি) পর্যবেক্ষণ করুন।

মূল পণ্যের গুণমান সূচকগুলি বিশ্লেষণ করুন (যেমন, লাইনউইথ, এচের গভীরতা, প্রান্তের রুক্ষতা, ইত্যাদি)

এই পরামিতিগুলি পর্যবেক্ষণ করে, প্রকৌশলীরা সরঞ্জামের কার্যক্ষমতা হ্রাস বা উত্পাদন প্রক্রিয়ার বিচ্যুতি নির্দেশ করে প্রবণতা সনাক্ত করতে পারে, এইভাবে স্ক্র্যাপের হার হ্রাস করে।

2. SPC সিস্টেমের মৌলিক উপাদান

এসপিসি সিস্টেমটি বিভিন্ন কী মডিউল নিয়ে গঠিত:

ডেটা সংগ্রহ মডিউল: সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়া প্রবাহ থেকে রিয়েল-টাইম ডেটা সংগ্রহ করে (যেমন, FDC, EES সিস্টেমের মাধ্যমে) এবং গুরুত্বপূর্ণ প্যারামিটার এবং উত্পাদন ফলাফল রেকর্ড করে।

কন্ট্রোল চার্ট মডিউল: পরিসংখ্যান নিয়ন্ত্রণ চার্ট ব্যবহার করে (যেমন, X-বার চার্ট, R চার্ট, Cp/Cpk চার্ট) প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা কল্পনা করতে এবং প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে আছে কিনা তা নির্ধারণ করতে সহায়তা করে।

অ্যালার্ম সিস্টেম: যখন গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলি নিয়ন্ত্রণের সীমা অতিক্রম করে বা প্রবণতা পরিবর্তনগুলি দেখায়, প্রকৌশলীদের পদক্ষেপ নিতে অনুরোধ করে তখন অ্যালার্ম ট্রিগার করে৷

বিশ্লেষণ এবং রিপোর্টিং মডিউল: এসপিসি চার্টের উপর ভিত্তি করে অসামঞ্জস্যের মূল কারণ বিশ্লেষণ করে এবং প্রক্রিয়া এবং সরঞ্জামগুলির জন্য নিয়মিত কর্মক্ষমতা প্রতিবেদন তৈরি করে।

3. SPC এ কন্ট্রোল চার্টের বিস্তারিত ব্যাখ্যা

কন্ট্রোল চার্ট হল SPC-তে সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত টুলগুলির মধ্যে একটি, যা "স্বাভাবিক প্রকরণ" (প্রাকৃতিক প্রক্রিয়ার বৈচিত্রের কারণে সৃষ্ট) এবং "অস্বাভাবিক প্রকরণ" (সরঞ্জামের ব্যর্থতা বা প্রক্রিয়া বিচ্যুতির কারণে) এর মধ্যে পার্থক্য করতে সাহায্য করে। সাধারণ নিয়ন্ত্রণ চার্ট অন্তর্ভুক্ত:

এক্স-বার এবং আর চার্ট: প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল কিনা তা পর্যবেক্ষণ করতে উৎপাদন ব্যাচের মধ্যে গড় এবং পরিসীমা নিরীক্ষণ করতে ব্যবহৃত হয়।

Cp এবং Cpk সূচক: প্রক্রিয়ার ক্ষমতা পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়, অর্থাৎ, প্রক্রিয়া আউটপুট ধারাবাহিকভাবে স্পেসিফিকেশন প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে কিনা। Cp সম্ভাব্য ক্ষমতা পরিমাপ করে, যখন Cpk স্পেসিফিকেশন সীমা থেকে প্রক্রিয়া কেন্দ্রের বিচ্যুতি বিবেচনা করে।

উদাহরণস্বরূপ, এচিং প্রক্রিয়ায়, আপনি এচ রেট এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতার মতো পরামিতিগুলি নিরীক্ষণ করতে পারেন। যদি একটি নির্দিষ্ট টুকরো সরঞ্জামের এচ রেট নিয়ন্ত্রণ সীমা অতিক্রম করে, তাহলে আপনি নিয়ন্ত্রণ চার্ট ব্যবহার করতে পারেন তা নির্ধারণ করতে এটি একটি প্রাকৃতিক পরিবর্তন বা সরঞ্জামের ত্রুটির ইঙ্গিত।

4. এচিং ইকুইপমেন্টে SPC এর প্রয়োগ

এচিং প্রক্রিয়ায়, সরঞ্জামের পরামিতি নিয়ন্ত্রণ করা গুরুত্বপূর্ণ, এবং SPC নিম্নলিখিত উপায়ে প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা উন্নত করতে সাহায্য করে:

ইকুইপমেন্ট কন্ডিশন মনিটরিং: FDC-এর মতো সিস্টেমগুলি এচিং ইকুইপমেন্টের মূল প্যারামিটারের (যেমন, RF পাওয়ার, গ্যাস প্রবাহ) রিয়েল-টাইম ডেটা সংগ্রহ করে এবং এই ডেটাকে SPC কন্ট্রোল চার্টের সাথে একত্রিত করে সম্ভাব্য ইকুইপমেন্টের সমস্যাগুলি শনাক্ত করতে। উদাহরণস্বরূপ, আপনি যদি দেখেন যে নিয়ন্ত্রণ চার্টে RF শক্তি ধীরে ধীরে সেট মান থেকে বিচ্যুত হচ্ছে, আপনি পণ্যের গুণমানকে প্রভাবিত না করার জন্য সামঞ্জস্য বা রক্ষণাবেক্ষণের জন্য প্রাথমিক পদক্ষেপ নিতে পারেন।

পণ্যের গুণমান পর্যবেক্ষণ: আপনি তাদের স্থায়িত্ব নিরীক্ষণের জন্য SPC সিস্টেমে মূল পণ্যের গুণমানের পরামিতিগুলি (যেমন, ইচ গভীরতা, লাইনউইথ) ইনপুট করতে পারেন। যদি কিছু সমালোচনামূলক পণ্য সূচক ধীরে ধীরে লক্ষ্য মান থেকে বিচ্যুত হয়, SPC সিস্টেম একটি অ্যালার্ম জারি করবে, যা নির্দেশ করে যে প্রক্রিয়া সমন্বয় প্রয়োজন।

প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ (PM): SPC সরঞ্জামগুলির জন্য প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ চক্রকে অপ্টিমাইজ করতে সাহায্য করতে পারে। সরঞ্জামের কার্যকারিতা এবং প্রক্রিয়া ফলাফলের দীর্ঘমেয়াদী ডেটা বিশ্লেষণ করে, আপনি সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সর্বোত্তম সময় নির্ধারণ করতে পারেন। উদাহরণস্বরূপ, আরএফ পাওয়ার এবং ESC জীবনকাল পর্যবেক্ষণ করে, আপনি কখন পরিষ্কার বা উপাদান প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন হবে তা নির্ধারণ করতে পারেন, সরঞ্জামের ব্যর্থতার হার এবং উত্পাদন ডাউনটাইম হ্রাস করতে পারেন।

5. SPC সিস্টেমের জন্য দৈনিক ব্যবহারের টিপস

দৈনিক ক্রিয়াকলাপে SPC সিস্টেম ব্যবহার করার সময়, নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি অনুসরণ করা যেতে পারে:

কী কন্ট্রোল প্যারামিটার (কেপিআই) সংজ্ঞায়িত করুন: উত্পাদন প্রক্রিয়ার সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলি সনাক্ত করুন এবং সেগুলিকে এসপিসি পর্যবেক্ষণে অন্তর্ভুক্ত করুন। এই পরামিতিগুলি পণ্যের গুণমান এবং সরঞ্জামের কার্যকারিতার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত হওয়া উচিত।

নিয়ন্ত্রণ সীমা এবং অ্যালার্ম সীমা সেট করুন: ঐতিহাসিক ডেটা এবং প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে, প্রতিটি প্যারামিটারের জন্য যুক্তিসঙ্গত নিয়ন্ত্রণ সীমা এবং অ্যালার্ম সীমা সেট করুন। নিয়ন্ত্রণ সীমা সাধারণত ±3σ (মান বিচ্যুতি) এ সেট করা হয়, যখন অ্যালার্ম সীমা প্রক্রিয়া এবং সরঞ্জামের নির্দিষ্ট অবস্থার উপর ভিত্তি করে।

ক্রমাগত পর্যবেক্ষণ এবং বিশ্লেষণ: ডেটা প্রবণতা এবং তারতম্য বিশ্লেষণ করতে নিয়মিতভাবে SPC নিয়ন্ত্রণ চার্ট পর্যালোচনা করুন। যদি কিছু পরামিতি নিয়ন্ত্রণের সীমা অতিক্রম করে, তাত্ক্ষণিক পদক্ষেপের প্রয়োজন হয়, যেমন সরঞ্জামের পরামিতি সামঞ্জস্য করা বা সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ করা।

অস্বাভাবিকতা পরিচালনা এবং মূল কারণ বিশ্লেষণ: যখন একটি অস্বাভাবিকতা ঘটে, তখন এসপিসি সিস্টেম ঘটনা সম্পর্কে বিস্তারিত তথ্য রেকর্ড করে। এই তথ্যের উপর ভিত্তি করে আপনাকে অস্বাভাবিকতার মূল কারণটি সমস্যা সমাধান এবং বিশ্লেষণ করতে হবে। এফডিসি সিস্টেম, ইইএস সিস্টেম ইত্যাদি থেকে ডেটা একত্রিত করা প্রায়শই সম্ভব হয়, এই সমস্যাটি সরঞ্জামের ব্যর্থতা, প্রক্রিয়া বিচ্যুতি বা বাহ্যিক পরিবেশগত কারণগুলির কারণে হয়েছে কিনা তা বিশ্লেষণ করতে।

ক্রমাগত উন্নতি: SPC সিস্টেম দ্বারা রেকর্ড করা ঐতিহাসিক তথ্য ব্যবহার করে, প্রক্রিয়ার দুর্বল পয়েন্টগুলি চিহ্নিত করুন এবং উন্নতির পরিকল্পনা প্রস্তাব করুন। উদাহরণস্বরূপ, এচিং প্রক্রিয়ায়, ESC জীবনকাল এবং সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ চক্রের পরিষ্কারের পদ্ধতির প্রভাব বিশ্লেষণ করুন এবং ক্রমাগত সরঞ্জাম অপারেটিং পরামিতিগুলি অপ্টিমাইজ করুন।

6. ব্যবহারিক আবেদন কেস

একটি ব্যবহারিক উদাহরণ হিসাবে, ধরুন আপনি ই-ম্যাক্স-এর ইচিং সরঞ্জামের জন্য দায়ী, এবং চেম্বার ক্যাথোড অকাল পরিধানের সম্মুখীন হচ্ছে, যার ফলে D0 (BARC ত্রুটি) মান বৃদ্ধি পাচ্ছে। এসপিসি সিস্টেমের মাধ্যমে আরএফ পাওয়ার এবং এচ রেট পর্যবেক্ষণ করে, আপনি একটি প্রবণতা লক্ষ্য করেন যেখানে এই পরামিতিগুলি ধীরে ধীরে তাদের সেট মান থেকে বিচ্যুত হয়। একটি SPC অ্যালার্ম ট্রিগার হওয়ার পরে, আপনি FDC সিস্টেম থেকে ডেটা একত্রিত করেন এবং নির্ধারণ করেন যে সমস্যাটি চেম্বারের অস্থির তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের কারণে হয়েছে। তারপরে আপনি নতুন পরিষ্কারের পদ্ধতি এবং রক্ষণাবেক্ষণের কৌশলগুলি বাস্তবায়ন করেন, অবশেষে D0 মানকে 4.3 থেকে 2.4-এ হ্রাস করে, যার ফলে পণ্যের গুণমান উন্নত হয়।

7. XINKEHUI-এ আপনি পেতে পারেন।

XINKEHUI-এ, আপনি নিখুঁত ওয়েফার অর্জন করতে পারেন, তা সিলিকন ওয়েফার হোক বা SiC ওয়েফার। আমরা নির্ভুলতা এবং কর্মক্ষমতার উপর ফোকাস করে বিভিন্ন শিল্পের জন্য উচ্চ-মানের ওয়েফার সরবরাহে বিশেষজ্ঞ।