ওয়েফার উৎপাদনে SPC সিস্টেমের গভীর ধারণা

১. এসপিসি সিস্টেমের সংক্ষিপ্ত বিবরণ

SPC হল এমন একটি পদ্ধতি যা উৎপাদন প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং নিয়ন্ত্রণের জন্য পরিসংখ্যানগত কৌশল ব্যবহার করে। এর মূল কাজ হল রিয়েল-টাইম ডেটা সংগ্রহ এবং বিশ্লেষণ করে উৎপাদন প্রক্রিয়ার অসঙ্গতি সনাক্ত করা, যা ইঞ্জিনিয়ারদের সময়োপযোগী সমন্বয় এবং সিদ্ধান্ত নিতে সহায়তা করে। SPC এর লক্ষ্য হল উৎপাদন প্রক্রিয়ার তারতম্য হ্রাস করা, পণ্যের মান স্থিতিশীল থাকা এবং নির্দিষ্টকরণ পূরণ করা নিশ্চিত করা।

এচিং প্রক্রিয়ায় SPC ব্যবহার করা হয়:

গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জামের পরামিতিগুলি পর্যবেক্ষণ করুন (যেমন, খোদাই হার, আরএফ শক্তি, চেম্বারের চাপ, তাপমাত্রা ইত্যাদি)

পণ্যের গুণমানের মূল সূচকগুলি বিশ্লেষণ করুন (যেমন, লাইনউইথ, এচ গভীরতা, প্রান্তের রুক্ষতা ইত্যাদি)

এই পরামিতিগুলি পর্যবেক্ষণ করে, প্রকৌশলীরা সরঞ্জামের কর্মক্ষমতা হ্রাস বা উৎপাদন প্রক্রিয়ায় বিচ্যুতি নির্দেশ করে এমন প্রবণতা সনাক্ত করতে পারেন, যার ফলে স্ক্র্যাপের হার হ্রাস পায়।

2. SPC সিস্টেমের মৌলিক উপাদানগুলি

SPC সিস্টেমটি বেশ কয়েকটি মূল মডিউল নিয়ে গঠিত:

তথ্য সংগ্রহ মডিউল: সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়া প্রবাহ (যেমন, FDC, EES সিস্টেমের মাধ্যমে) থেকে রিয়েল-টাইম তথ্য সংগ্রহ করে এবং গুরুত্বপূর্ণ পরামিতি এবং উৎপাদন ফলাফল রেকর্ড করে।

নিয়ন্ত্রণ চার্ট মডিউল: প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা কল্পনা করতে এবং প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে আছে কিনা তা নির্ধারণ করতে পরিসংখ্যানগত নিয়ন্ত্রণ চার্ট (যেমন, X-বার চার্ট, R চার্ট, Cp/Cpk চার্ট) ব্যবহার করে।

অ্যালার্ম সিস্টেম: যখন গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলি নিয়ন্ত্রণ সীমা অতিক্রম করে বা প্রবণতার পরিবর্তন দেখায় তখন অ্যালার্ম ট্রিগার করে, যা ইঞ্জিনিয়ারদের পদক্ষেপ নিতে উৎসাহিত করে।

বিশ্লেষণ এবং প্রতিবেদন মডিউল: SPC চার্টের উপর ভিত্তি করে অসঙ্গতির মূল কারণ বিশ্লেষণ করে এবং নিয়মিতভাবে প্রক্রিয়া এবং সরঞ্জামের জন্য কর্মক্ষমতা প্রতিবেদন তৈরি করে।

3. SPC-তে নিয়ন্ত্রণ চার্টের বিস্তারিত ব্যাখ্যা

SPC-তে কন্ট্রোল চার্ট হল সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত টুলগুলির মধ্যে একটি, যা "স্বাভাবিক পরিবর্তন" (প্রাকৃতিক প্রক্রিয়ার পরিবর্তনের কারণে সৃষ্ট) এবং "অস্বাভাবিক পরিবর্তন" (যন্ত্রের ব্যর্থতা বা প্রক্রিয়ার বিচ্যুতির কারণে সৃষ্ট) এর মধ্যে পার্থক্য করতে সাহায্য করে। সাধারণ নিয়ন্ত্রণ চার্টগুলির মধ্যে রয়েছে:

এক্স-বার এবং আর চার্ট: উৎপাদন ব্যাচের মধ্যে গড় এবং পরিসর পর্যবেক্ষণ করতে ব্যবহৃত হয় যাতে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল কিনা তা পর্যবেক্ষণ করা যায়।

Cp এবং Cpk সূচক: প্রক্রিয়া ক্ষমতা পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়, অর্থাৎ, প্রক্রিয়া আউটপুট ধারাবাহিকভাবে স্পেসিফিকেশন প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে কিনা। Cp সম্ভাব্য ক্ষমতা পরিমাপ করে, যখন Cpk স্পেসিফিকেশন সীমা থেকে প্রক্রিয়া কেন্দ্রের বিচ্যুতি বিবেচনা করে।

উদাহরণস্বরূপ, এচিং প্রক্রিয়ায়, আপনি এচ রেট এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতার মতো পরামিতিগুলি পর্যবেক্ষণ করতে পারেন। যদি কোনও নির্দিষ্ট সরঞ্জামের এচ রেট নিয়ন্ত্রণ সীমা অতিক্রম করে, তাহলে আপনি নিয়ন্ত্রণ চার্ট ব্যবহার করে নির্ধারণ করতে পারেন যে এটি একটি প্রাকৃতিক পরিবর্তন নাকি সরঞ্জামের ত্রুটির ইঙ্গিত।

৪. এচিং সরঞ্জামে এসপিসির প্রয়োগ

এচিং প্রক্রিয়ায়, সরঞ্জামের পরামিতি নিয়ন্ত্রণ করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, এবং SPC নিম্নলিখিত উপায়ে প্রক্রিয়ার স্থায়িত্ব উন্নত করতে সাহায্য করে:

সরঞ্জামের অবস্থা পর্যবেক্ষণ: FDC-এর মতো সিস্টেমগুলি এচিং সরঞ্জামের মূল পরামিতিগুলির (যেমন, RF শক্তি, গ্যাস প্রবাহ) রিয়েল-টাইম ডেটা সংগ্রহ করে এবং সম্ভাব্য সরঞ্জামের সমস্যাগুলি সনাক্ত করতে এই ডেটা SPC নিয়ন্ত্রণ চার্টের সাথে একত্রিত করে। উদাহরণস্বরূপ, যদি আপনি দেখেন যে একটি নিয়ন্ত্রণ চার্টে RF শক্তি ধীরে ধীরে সেট মান থেকে বিচ্যুত হচ্ছে, তাহলে পণ্যের গুণমানকে প্রভাবিত না করার জন্য আপনি সমন্বয় বা রক্ষণাবেক্ষণের জন্য প্রাথমিক পদক্ষেপ নিতে পারেন।

পণ্যের গুণমান পর্যবেক্ষণ: আপনি SPC সিস্টেমে মূল পণ্যের গুণমান পরামিতিগুলি (যেমন, খোদাই গভীরতা, লাইনউইথ) ইনপুট করতে পারেন যাতে তাদের স্থিতিশীলতা পর্যবেক্ষণ করা যায়। যদি কিছু গুরুত্বপূর্ণ পণ্য সূচক ধীরে ধীরে লক্ষ্য মান থেকে বিচ্যুত হয়, তাহলে SPC সিস্টেম একটি অ্যালার্ম জারি করবে, যা নির্দেশ করবে যে প্রক্রিয়া সমন্বয় প্রয়োজন।

প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ (PM): SPC সরঞ্জামের জন্য প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ চক্রকে সর্বোত্তম করতে সাহায্য করতে পারে। সরঞ্জামের কর্মক্ষমতা এবং প্রক্রিয়া ফলাফলের দীর্ঘমেয়াদী তথ্য বিশ্লেষণ করে, আপনি সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণের জন্য সর্বোত্তম সময় নির্ধারণ করতে পারেন। উদাহরণস্বরূপ, RF শক্তি এবং ESC জীবনকাল পর্যবেক্ষণ করে, আপনি কখন পরিষ্কার বা উপাদান প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন তা নির্ধারণ করতে পারেন, সরঞ্জামের ব্যর্থতার হার এবং উৎপাদন ডাউনটাইম হ্রাস করে।

৫. এসপিসি সিস্টেমের জন্য দৈনন্দিন ব্যবহারের টিপস

দৈনন্দিন কাজে SPC সিস্টেম ব্যবহার করার সময়, নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি অনুসরণ করা যেতে পারে:

কী কন্ট্রোল প্যারামিটার (KPI) সংজ্ঞায়িত করুন: উৎপাদন প্রক্রিয়ার সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্যারামিটারগুলি চিহ্নিত করুন এবং সেগুলিকে SPC পর্যবেক্ষণে অন্তর্ভুক্ত করুন। এই প্যারামিটারগুলি পণ্যের গুণমান এবং সরঞ্জামের কর্মক্ষমতার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত হওয়া উচিত।

নিয়ন্ত্রণ সীমা এবং অ্যালার্ম সীমা নির্ধারণ করুন: ঐতিহাসিক তথ্য এবং প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে, প্রতিটি প্যারামিটারের জন্য যুক্তিসঙ্গত নিয়ন্ত্রণ সীমা এবং অ্যালার্ম সীমা নির্ধারণ করুন। নিয়ন্ত্রণ সীমা সাধারণত ±3σ (মানক বিচ্যুতি) এ সেট করা হয়, যখন অ্যালার্ম সীমা প্রক্রিয়া এবং সরঞ্জামের নির্দিষ্ট অবস্থার উপর ভিত্তি করে।

ক্রমাগত পর্যবেক্ষণ এবং বিশ্লেষণ: ডেটা ট্রেন্ড এবং তারতম্য বিশ্লেষণ করতে নিয়মিতভাবে SPC নিয়ন্ত্রণ চার্ট পর্যালোচনা করুন। যদি কিছু পরামিতি নিয়ন্ত্রণ সীমা অতিক্রম করে, তাহলে তাৎক্ষণিক পদক্ষেপ নেওয়া প্রয়োজন, যেমন সরঞ্জামের পরামিতি সামঞ্জস্য করা বা সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ করা।

অস্বাভাবিকতা পরিচালনা এবং মূল কারণ বিশ্লেষণ: যখন কোনও অস্বাভাবিকতা দেখা দেয়, তখন SPC সিস্টেম ঘটনা সম্পর্কে বিস্তারিত তথ্য রেকর্ড করে। এই তথ্যের উপর ভিত্তি করে আপনাকে অস্বাভাবিকতার মূল কারণটি সমাধান এবং বিশ্লেষণ করতে হবে। প্রায়শই FDC সিস্টেম, EES সিস্টেম ইত্যাদি থেকে তথ্য একত্রিত করে বিশ্লেষণ করা সম্ভব হয় যে সমস্যাটি সরঞ্জামের ব্যর্থতা, প্রক্রিয়া বিচ্যুতি, অথবা বাহ্যিক পরিবেশগত কারণের কারণে কিনা।

ক্রমাগত উন্নতি: SPC সিস্টেম দ্বারা রেকর্ড করা ঐতিহাসিক তথ্য ব্যবহার করে, প্রক্রিয়ার দুর্বল দিকগুলি চিহ্নিত করুন এবং উন্নতির পরিকল্পনা প্রস্তাব করুন। উদাহরণস্বরূপ, এচিং প্রক্রিয়ায়, সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ চক্রের উপর ESC জীবনকাল এবং পরিষ্কারের পদ্ধতির প্রভাব বিশ্লেষণ করুন এবং সরঞ্জাম অপারেটিং পরামিতিগুলিকে ক্রমাগত অপ্টিমাইজ করুন।

৬. ব্যবহারিক প্রয়োগের কেস

ব্যবহারিক উদাহরণ হিসেবে, ধরুন আপনি এচিং সরঞ্জাম E-MAX এর জন্য দায়িত্বে আছেন, এবং চেম্বার ক্যাথোড অকাল ক্ষয়ের সম্মুখীন হচ্ছে, যার ফলে D0 (BARC ত্রুটি) মান বৃদ্ধি পাচ্ছে। SPC সিস্টেমের মাধ্যমে RF পাওয়ার এবং এচ রেট পর্যবেক্ষণ করে, আপনি একটি প্রবণতা লক্ষ্য করেন যেখানে এই পরামিতিগুলি ধীরে ধীরে তাদের নির্ধারিত মান থেকে বিচ্যুত হয়। SPC অ্যালার্ম ট্রিগার হওয়ার পরে, আপনি FDC সিস্টেম থেকে ডেটা একত্রিত করেন এবং নির্ধারণ করেন যে সমস্যাটি চেম্বারের ভিতরে অস্থির তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের কারণে হয়েছে। তারপরে আপনি নতুন পরিষ্কারের পদ্ধতি এবং রক্ষণাবেক্ষণ কৌশল প্রয়োগ করেন, অবশেষে D0 মান 4.3 থেকে 2.4 এ কমিয়ে আনেন, যার ফলে পণ্যের মান উন্নত হয়।

৭. XINKEHUI তে আপনি পেতে পারেন।

XINKEHUI-তে, আপনি নিখুঁত ওয়েফার অর্জন করতে পারেন, তা সে সিলিকন ওয়েফার হোক বা SiC ওয়েফার। আমরা বিভিন্ন শিল্পের জন্য উচ্চমানের ওয়েফার সরবরাহে বিশেষজ্ঞ, নির্ভুলতা এবং কর্মক্ষমতার উপর মনোযোগ কেন্দ্রীভূত করে।