সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তির ক্রমাগত বিকাশের সাথে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্প এবং এমনকি ফটোভোলটাইক শিল্পে, ওয়েফার সাবস্ট্রেট বা এপিটাক্সিয়াল শীটের পৃষ্ঠের গুণমানের জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলিও খুব কঠোর।সুতরাং, ওয়েফারের জন্য মানের প্রয়োজনীয়তা কি?একটি উদাহরণ হিসাবে নীলকান্তমণি ওয়েফার গ্রহণ, ওয়েফার পৃষ্ঠের গুণমান মূল্যায়ন করতে কোন সূচক ব্যবহার করা যেতে পারে?
ওয়েফার মূল্যায়ন সূচক কি?
তিনটি সূচক
নীলকান্তমণি ওয়েফারের জন্য, এর মূল্যায়ন সূচক হল মোট পুরুত্বের বিচ্যুতি (টিটিভি), মোড় (ধনু) এবং ওয়ার্প (ওয়ার্প)।এই তিনটি পরামিতি একসাথে সিলিকন ওয়েফারের সমতলতা এবং বেধের অভিন্নতা প্রতিফলিত করে এবং ওয়েফারের লহরের মাত্রা পরিমাপ করতে পারে।ওয়েফার পৃষ্ঠের গুণমান মূল্যায়ন করার জন্য ঢেউতোলা সমতলতার সাথে একত্রিত করা যেতে পারে।
TTV, BOW, Warp কি?
TTV (মোট বেধের তারতম্য)
TTV হল একটি ওয়েফারের সর্বোচ্চ এবং সর্বনিম্ন বেধের মধ্যে পার্থক্য।এই প্যারামিটারটি একটি গুরুত্বপূর্ণ সূচক যা ওয়েফার বেধের অভিন্নতা পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়।একটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়ায়, ওয়েফারের বেধ সমগ্র পৃষ্ঠের উপর খুব অভিন্ন হতে হবে।পরিমাপ সাধারণত ওয়েফারের পাঁচটি স্থানে তৈরি করা হয় এবং পার্থক্য গণনা করা হয়।শেষ পর্যন্ত, এই মানটি ওয়েফারের গুণমান বিচার করার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ ভিত্তি।
নম
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং-এ বো বলতে একটি ওয়েফারের বাঁক বোঝায়, একটি আনক্ল্যাম্পড ওয়েফার এবং রেফারেন্স প্লেনের মধ্যবিন্দুর মধ্যে দূরত্ব মুক্ত করে।শব্দটি সম্ভবত একটি বস্তুর আকৃতির বর্ণনা থেকে এসেছে যখন এটি বাঁকানো হয়, যেমন একটি ধনুকের বাঁকা আকৃতি।সিলিকন ওয়েফারের কেন্দ্র এবং প্রান্তের মধ্যে বিচ্যুতি পরিমাপ করে বো মানটি সংজ্ঞায়িত করা হয়।এই মানটি সাধারণত মাইক্রোমিটারে (µm) প্রকাশ করা হয়।
ওয়ার্প
ওয়ার্প হল ওয়েফারের একটি বিশ্বব্যাপী সম্পত্তি যা একটি অবাধে আনক্ল্যাম্পড ওয়েফার এবং রেফারেন্স প্লেনের মাঝখানে সর্বাধিক এবং সর্বনিম্ন দূরত্বের মধ্যে পার্থক্য পরিমাপ করে।সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ থেকে সমতল পর্যন্ত দূরত্বের প্রতিনিধিত্ব করে।
TTV, Bow, Warp এর মধ্যে পার্থক্য কি?
TTV বেধের পরিবর্তনের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে এবং ওয়েফারের বাঁকানো বা বিকৃতির সাথে সংশ্লিষ্ট নয়।
নম সামগ্রিক বাঁকের উপর ফোকাস করে, প্রধানত কেন্দ্র বিন্দু এবং প্রান্তের বাঁক বিবেচনা করে।
ওয়ার্প সম্পূর্ণ ওয়েফার পৃষ্ঠের বাঁকানো এবং মোচড়ানো সহ আরও ব্যাপক।
যদিও এই তিনটি পরামিতি সিলিকন ওয়েফারের আকৃতি এবং জ্যামিতিক বৈশিষ্ট্যের সাথে সম্পর্কিত, তবে সেগুলিকে আলাদাভাবে পরিমাপ করা হয় এবং বর্ণনা করা হয় এবং সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া এবং ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের উপর তাদের প্রভাবও আলাদা।
তিনটি পরামিতি যত ছোট হবে, তত ভাল, এবং প্যারামিটার যত বড় হবে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার উপর নেতিবাচক প্রভাব তত বেশি হবে।অতএব, একজন সেমিকন্ডাক্টর অনুশীলনকারী হিসাবে, আমাদের অবশ্যই সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া প্রক্রিয়ার জন্য ওয়েফার প্রোফাইল প্যারামিটারের গুরুত্ব উপলব্ধি করতে হবে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াটি করতে হবে, বিশদগুলিতে মনোযোগ দিতে হবে।
(সেন্সরিং)
পোস্টের সময়: জুন-24-2024