সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তির ক্রমাগত বিকাশের সাথে সাথে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে এমনকি ফটোভোলটাইক শিল্পেও, ওয়েফার সাবস্ট্রেট বা এপিট্যাক্সিয়াল শীটের পৃষ্ঠের মানের জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি খুব কঠোর। তাহলে, ওয়েফারের জন্য মানের প্রয়োজনীয়তাগুলি কী কী?নীলকান্তমণি ওয়েফারউদাহরণস্বরূপ, ওয়েফারের পৃষ্ঠের গুণমান মূল্যায়নের জন্য কোন সূচকগুলি ব্যবহার করা যেতে পারে?
ওয়েফার মূল্যায়ন সূচকগুলি কী কী?
তিনটি সূচক
নীলকান্তমণি ওয়েফারের জন্য, এর মূল্যায়ন সূচকগুলি হল মোট বেধ বিচ্যুতি (TTV), বাঁক (ধনুক) এবং ওয়ার্প (ওয়ার্প)। এই তিনটি পরামিতি একসাথে সিলিকন ওয়েফারের সমতলতা এবং বেধের অভিন্নতা প্রতিফলিত করে এবং ওয়েফারের লহরের মাত্রা পরিমাপ করতে পারে। ওয়েফার পৃষ্ঠের গুণমান মূল্যায়নের জন্য সমতলতার সাথে ঢেউখেলন একত্রিত করা যেতে পারে।
টিটিভি, বো, ওয়ার্প কী?
টিটিভি (মোট পুরুত্বের তারতম্য)
TTV হল একটি ওয়েফারের সর্বোচ্চ এবং সর্বনিম্ন বেধের মধ্যে পার্থক্য। এই প্যারামিটারটি ওয়েফারের পুরুত্বের অভিন্নতা পরিমাপের জন্য ব্যবহৃত একটি গুরুত্বপূর্ণ সূচক। একটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়ায়, ওয়েফারের পুরুত্ব সমগ্র পৃষ্ঠের উপর খুব অভিন্ন হতে হবে। সাধারণত ওয়েফারের পাঁচটি স্থানে পরিমাপ করা হয় এবং পার্থক্য গণনা করা হয়। পরিশেষে, এই মানটি ওয়েফারের গুণমান বিচার করার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ ভিত্তি।
নম
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে বো বলতে একটি ওয়েফারের বাঁক বোঝায়, যা একটি আনক্ল্যাম্পড ওয়েফারের মধ্যবিন্দু এবং রেফারেন্স প্লেনের মধ্যে দূরত্ব মুক্ত করে। শব্দটি সম্ভবত একটি বস্তুর আকৃতির বর্ণনা থেকে এসেছে যখন এটি বাঁকানো হয়, যেমন একটি ধনুকের বাঁকা আকৃতি। সিলিকন ওয়েফারের কেন্দ্র এবং প্রান্তের মধ্যে বিচ্যুতি পরিমাপ করে বো মান নির্ধারণ করা হয়। এই মানটি সাধারণত মাইক্রোমিটার (µm) এ প্রকাশ করা হয়।
ওয়ার্প
ওয়ার্প হলো ওয়েফারের একটি বৈশ্বিক বৈশিষ্ট্য যা একটি মুক্তভাবে আনক্ল্যাম্পড ওয়েফারের মাঝখানে এবং রেফারেন্স প্লেনের মধ্যে সর্বোচ্চ এবং সর্বনিম্ন দূরত্বের পার্থক্য পরিমাপ করে। সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ থেকে প্লেনের দূরত্ব প্রতিনিধিত্ব করে।
টিটিভি, বো, ওয়ার্পের মধ্যে পার্থক্য কী?
টিটিভি পুরুত্বের পরিবর্তনের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে এবং ওয়েফারের বাঁকানো বা বিকৃতির সাথে সম্পর্কিত নয়।
বো সামগ্রিক বাঁকের উপর ফোকাস করে, প্রধানত কেন্দ্রবিন্দু এবং প্রান্তের বাঁক বিবেচনা করে।
ওয়ার্প আরও ব্যাপক, যার মধ্যে রয়েছে পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠের বাঁকানো এবং মোচড়ানো।
যদিও এই তিনটি পরামিতি সিলিকন ওয়েফারের আকৃতি এবং জ্যামিতিক বৈশিষ্ট্যের সাথে সম্পর্কিত, তবে এগুলি পরিমাপ করা হয় এবং ভিন্নভাবে বর্ণনা করা হয় এবং সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া এবং ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের উপর তাদের প্রভাবও ভিন্ন।
তিনটি প্যারামিটার যত ছোট হবে, তত ভালো হবে এবং প্যারামিটার যত বড় হবে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার উপর নেতিবাচক প্রভাব তত বেশি হবে। অতএব, একজন সেমিকন্ডাক্টর অনুশীলনকারী হিসেবে, আমাদের অবশ্যই পুরো প্রক্রিয়া প্রক্রিয়ার জন্য ওয়েফার প্রোফাইল প্যারামিটারের গুরুত্ব উপলব্ধি করতে হবে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া করতে হবে, বিশদ বিবরণের দিকে মনোযোগ দিতে হবে।
(সেন্সরিং)
পোস্টের সময়: জুন-২৪-২০২৪