SiC সিরামিক চাক ট্রে সিরামিক সাকশন কাপ প্রিসিশন মেশিনিং কাস্টমাইজড
উপাদান বৈশিষ্ট্য:
১.উচ্চ কঠোরতা: সিলিকন কার্বাইডের মোহস কঠোরতা ৯.২-৯.৫, হীরার পরেই দ্বিতীয়, শক্তিশালী পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা সহ।
2. উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: সিলিকন কার্বাইডের তাপ পরিবাহিতা 120-200 ওয়াট/মি·কে পর্যন্ত বেশি, যা দ্রুত তাপ অপচয় করতে পারে এবং উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।
৩. নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ: সিলিকন কার্বাইড তাপীয় প্রসারণ সহগ কম (৪.০-৪.৫×১০⁻⁶/কে), উচ্চ তাপমাত্রায়ও মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে।
4. রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: সিলিকন কার্বাইড অ্যাসিড এবং ক্ষার জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা, রাসায়নিক ক্ষয়কারী পরিবেশে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত।
5. উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি: সিলিকন কার্বাইডের উচ্চ নমন শক্তি এবং সংকোচন শক্তি রয়েছে এবং এটি বড় যান্ত্রিক চাপ সহ্য করতে পারে।
বৈশিষ্ট্য:
১. সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে, অত্যন্ত পাতলা ওয়েফারগুলিকে ভ্যাকুয়াম সাকশন কাপের উপর স্থাপন করতে হয়, ভ্যাকুয়াম সাকশন ওয়েফারগুলিকে ঠিক করার জন্য ব্যবহৃত হয় এবং ওয়েফারগুলিতে মোম, পাতলা, মোম, পরিষ্কার এবং কাটার প্রক্রিয়া সঞ্চালিত হয়।
2. সিলিকন কার্বাইড সাকারের তাপ পরিবাহিতা ভালো, এটি কার্যকরভাবে ওয়াক্সিং এবং ওয়াক্সিং সময় কমাতে পারে, উৎপাদন দক্ষতা উন্নত করতে পারে।
৩. সিলিকন কার্বাইড ভ্যাকুয়াম সাকারের অ্যাসিড এবং ক্ষার জারা প্রতিরোধ ক্ষমতাও ভালো।
৪. ঐতিহ্যবাহী কোরান্ডাম ক্যারিয়ার প্লেটের সাথে তুলনা করলে, লোডিং এবং আনলোডিং গরম এবং শীতল করার সময় কমিয়ে দেয়, কাজের দক্ষতা উন্নত করে; একই সময়ে, এটি উপরের এবং নীচের প্লেটের মধ্যে ক্ষয় কমাতে পারে, ভাল সমতল নির্ভুলতা বজায় রাখতে পারে এবং পরিষেবা জীবন প্রায় 40% বাড়িয়ে দিতে পারে।
৫. উপাদানের অনুপাত ছোট, ওজন হালকা। অপারেটরদের পক্ষে প্যালেট বহন করা সহজ, পরিবহন অসুবিধার কারণে সংঘর্ষের ক্ষতির ঝুঁকি প্রায় ২০% হ্রাস করে।
৬.আকার: সর্বোচ্চ ব্যাস ৬৪০ মিমি; সমতলতা: ৩um বা তার কম
আবেদন ক্ষেত্র:
১. সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন
● ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ:
ফটোলিথোগ্রাফি, এচিং, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলিতে ওয়েফার ফিক্সেশনের জন্য, উচ্চ নির্ভুলতা এবং প্রক্রিয়ার ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে। এর উচ্চ তাপমাত্রা এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা কঠোর সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।
● এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি:
SiC বা GaN এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধিতে, ওয়েফারগুলিকে উত্তপ্ত এবং ঠিক করার বাহক হিসাবে, উচ্চ তাপমাত্রায় তাপমাত্রার অভিন্নতা এবং স্ফটিকের গুণমান নিশ্চিত করে, ডিভাইসের কর্মক্ষমতা উন্নত করে।
2. আলোক-বিদ্যুৎ সরঞ্জাম
● LED উৎপাদন:
নীলকান্তমণি বা SiC সাবস্ট্রেট ঠিক করতে এবং MOCVD প্রক্রিয়ায় তাপ বাহক হিসেবে ব্যবহৃত হয়, এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির অভিন্নতা নিশ্চিত করতে, LED আলোকিত দক্ষতা এবং গুণমান উন্নত করতে।
● লেজার ডায়োড:
উচ্চ-নির্ভুলতা ফিক্সচার হিসেবে, প্রক্রিয়া তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে, লেজার ডায়োডের আউটপুট শক্তি এবং নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করতে ফিক্সিং এবং হিটিং সাবস্ট্রেট।
3. যথার্থ যন্ত্র
● অপটিক্যাল কম্পোনেন্ট প্রক্রিয়াকরণ:
এটি অপটিক্যাল লেন্স এবং ফিল্টারের মতো নির্ভুল উপাদানগুলি ঠিক করার জন্য ব্যবহৃত হয় যাতে প্রক্রিয়াকরণের সময় উচ্চ নির্ভুলতা এবং কম দূষণ নিশ্চিত করা যায় এবং উচ্চ-তীব্রতা যন্ত্রের জন্য উপযুক্ত।
● সিরামিক প্রক্রিয়াকরণ:
উচ্চ স্থিতিশীলতার ফিক্সচার হিসেবে, এটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশে মেশিনিং নির্ভুলতা এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করার জন্য সিরামিক উপকরণের নির্ভুল যন্ত্রের জন্য উপযুক্ত।
৪. বৈজ্ঞানিক পরীক্ষা-নিরীক্ষা
● উচ্চ তাপমাত্রার পরীক্ষা:
উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে নমুনা স্থিরকরণ যন্ত্র হিসেবে, এটি তাপমাত্রার অভিন্নতা এবং নমুনা স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে ১৬০০°C এর উপরে চরম তাপমাত্রা পরীক্ষা-নিরীক্ষা সমর্থন করে।
● ভ্যাকুয়াম পরীক্ষা:
ভ্যাকুয়াম পরিবেশে নমুনা স্থিরকরণ এবং গরম করার বাহক হিসেবে, পরীক্ষার নির্ভুলতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য, ভ্যাকুয়াম আবরণ এবং তাপ চিকিত্সার জন্য উপযুক্ত।
প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য:
| (বস্তুগত সম্পত্তি) | (ইউনিট) | (ssic) | |
| (SiC কন্টেন্ট) |
| (ওয়াট)% | >৯৯ |
| (গড় শস্যের আকার) |
| মাইক্রন | ৪-১০ |
| (ঘনত্ব) |
| কেজি/ডেসিমিটার৩ | >৩.১৪ |
| (আপাত ছিদ্রতা) |
| ভোট১% | <0.5 |
| (ভিকারদের কঠোরতা) | এইচভি ০.৫ | জিপিএ | 28 |
| *( নমনীয় শক্তি) | ২০সে.মি. | এমপিএ | ৪৫০ |
| (সংকোচন শক্তি) | ২০সে.মি. | এমপিএ | ৩৯০০ |
| (ইলাস্টিক মডুলাস) | ২০সে.মি. | জিপিএ | ৪২০ |
| (ভগ্নাংশের দৃঢ়তা) |
| এমপিএ/মিটার'% | ৩.৫ |
| (তাপীয় পরিবাহিতা) | ২০°সে. | ওয়াট/(মি*কে) | ১৬০ |
| (প্রতিরোধ ক্ষমতা) | ২০°সে. | ওহম.সেমি | ১০৬-১০৮ |
|
| a(RT**...৮০ºC) | কে-১*১০-৬ | ৪.৩ |
|
|
| তাপমাত্রা | ১৭০০ |
বছরের পর বছর ধরে প্রযুক্তিগত সঞ্চয় এবং শিল্প অভিজ্ঞতার মাধ্যমে, XKH গ্রাহকের নির্দিষ্ট চাহিদা অনুসারে চাকের আকার, গরম করার পদ্ধতি এবং ভ্যাকুয়াম শোষণ নকশার মতো গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলি তৈরি করতে সক্ষম, যাতে পণ্যটি গ্রাহকের প্রক্রিয়ার সাথে পুরোপুরি খাপ খাইয়ে নেওয়া যায়। SiC সিলিকন কার্বাইড সিরামিক চাকগুলি তাদের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতার কারণে ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ, এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি এবং অন্যান্য মূল প্রক্রিয়াগুলিতে অপরিহার্য উপাদান হয়ে উঠেছে। বিশেষ করে SiC এবং GaN এর মতো তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর উপকরণ তৈরিতে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক চাকের চাহিদা বৃদ্ধি পাচ্ছে। ভবিষ্যতে, 5G, বৈদ্যুতিক যানবাহন, কৃত্রিম বুদ্ধিমত্তা এবং অন্যান্য প্রযুক্তির দ্রুত বিকাশের সাথে সাথে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে সিলিকন কার্বাইড সিরামিক চাকের প্রয়োগের সম্ভাবনা আরও বিস্তৃত হবে।
বিস্তারিত চিত্র
