ওয়েফার ক্যারিংয়ের জন্য SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টর হ্যান্ডিং আর্ম

ছোট বিবরণ:

LiNbO₃ ওয়েফারগুলি সমন্বিত ফোটোনিক্স এবং নির্ভুল অ্যাকোস্টিক্সে স্বর্ণমানকে প্রতিনিধিত্ব করে, আধুনিক অপটোইলেকট্রনিক সিস্টেমে অতুলনীয় কর্মক্ষমতা প্রদান করে। একটি শীর্ষস্থানীয় নির্মাতা হিসেবে, আমরা উন্নত বাষ্প পরিবহন ভারসাম্য কৌশলের মাধ্যমে এই ইঞ্জিনিয়ারড সাবস্ট্রেটগুলি তৈরির শিল্পকে নিখুঁত করেছি, 50/cm² এর নিচে ত্রুটি ঘনত্ব সহ শিল্প-নেতৃস্থানীয় স্ফটিক পরিপূর্ণতা অর্জন করেছি।

XKH উৎপাদন ক্ষমতা ৭৫ মিমি থেকে ১৫০ মিমি ব্যাস পর্যন্ত বিস্তৃত, সুনির্দিষ্ট ওরিয়েন্টেশন নিয়ন্ত্রণ (X/Y/Z-কাট ±০.৩°) এবং বিরল-পৃথিবী উপাদান সহ বিশেষায়িত ডোপিং বিকল্প সহ। LiNbO₃ ওয়েফারের বৈশিষ্ট্যের অনন্য সমন্বয় - তাদের উল্লেখযোগ্য r₃₃ সহগ (৩২±২ pm/V) এবং প্রায়-UV থেকে মধ্য-IR পর্যন্ত বিস্তৃত স্বচ্ছতা সহ - এগুলিকে পরবর্তী প্রজন্মের ফোটোনিক সার্কিট এবং উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি অ্যাকোস্টিক ডিভাইসের জন্য অপরিহার্য করে তোলে।

আমাদের ইমেইল পাঠান

ফিচার

SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টর বিমূর্ত

SiC (সিলিকন কার্বাইড) সিরামিক এন্ড-ইফেক্টর হল সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন এবং উন্নত মাইক্রোফ্যাব্রিকেশন পরিবেশে ব্যবহৃত উচ্চ-নির্ভুলতা ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। অতি-পরিষ্কার, উচ্চ-তাপমাত্রা এবং অত্যন্ত স্থিতিশীল পরিবেশের চাহিদাপূর্ণ প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য তৈরি, এই বিশেষায়িত এন্ড-ইফেক্টর লিথোগ্রাফি, এচিং এবং ডিপোজিশনের মতো গুরুত্বপূর্ণ উৎপাদন পদক্ষেপের সময় ওয়েফারের নির্ভরযোগ্য এবং দূষণ-মুক্ত পরিবহন নিশ্চিত করে।

সিলিকন কার্বাইডের উচ্চতর উপাদান বৈশিষ্ট্য যেমন উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, চরম কঠোরতা, চমৎকার রাসায়নিক জড়তা এবং ন্যূনতম তাপীয় প্রসারণকে কাজে লাগিয়ে, SiC সিরামিক এন্ড-ইফেক্টর দ্রুত তাপীয় চক্রাকারে বা ক্ষয়কারী প্রক্রিয়া চেম্বারেও অতুলনীয় যান্ত্রিক দৃঢ়তা এবং মাত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে। এর কম কণা উৎপাদন এবং প্লাজমা প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্য এটিকে ক্লিনরুম এবং ভ্যাকুয়াম প্রক্রিয়াকরণ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে, যেখানে ওয়েফার পৃষ্ঠের অখণ্ডতা বজায় রাখা এবং কণা দূষণ হ্রাস করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টর অ্যাপ্লিকেশন

১. সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার হ্যান্ডলিং

স্বয়ংক্রিয় উৎপাদনের সময় সিলিকন ওয়েফার পরিচালনার জন্য সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টর ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এই এন্ড ইফেক্টরগুলি সাধারণত রোবোটিক আর্ম বা ভ্যাকুয়াম ট্রান্সফার সিস্টেমে মাউন্ট করা হয় এবং 200 মিমি এবং 300 মিমি এর মতো বিভিন্ন আকারের ওয়েফারগুলিকে মিটমাট করার জন্য ডিজাইন করা হয়। রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), ভৌত বাষ্প জমা (PVD), এচিং এবং ডিফিউশন সহ প্রক্রিয়াগুলিতে এগুলি অপরিহার্য - যেখানে উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম অবস্থা এবং ক্ষয়কারী গ্যাসগুলি সাধারণ। SiC এর ব্যতিক্রমী তাপ প্রতিরোধ এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এটিকে অবক্ষয় ছাড়াই এই ধরনের কঠোর পরিবেশ সহ্য করার জন্য একটি আদর্শ উপাদান করে তোলে।

2. ক্লিনরুম এবং ভ্যাকুয়াম সামঞ্জস্যতা

ক্লিনরুম এবং ভ্যাকুয়াম সেটিংসে, যেখানে কণা দূষণ কমাতে হবে, SiC সিরামিকগুলি উল্লেখযোগ্য সুবিধা প্রদান করে। উপাদানটির ঘন, মসৃণ পৃষ্ঠ কণা তৈরির প্রতিরোধ করে, পরিবহনের সময় ওয়েফার অখণ্ডতা বজায় রাখতে সাহায্য করে। এটি SiC এন্ড ইফেক্টরগুলিকে এক্সট্রিম আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (EUV) এবং অ্যাটমিক লেয়ার ডিপোজিশন (ALD) এর মতো গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে, যেখানে পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। তদুপরি, SiC এর কম গ্যাস নির্গমন এবং উচ্চ প্লাজমা প্রতিরোধ ভ্যাকুয়াম চেম্বারে নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে, সরঞ্জামগুলির আয়ুষ্কাল বৃদ্ধি করে এবং রক্ষণাবেক্ষণ ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে।

৩. উচ্চ-নির্ভুল অবস্থান নির্ধারণ ব্যবস্থা

উন্নত ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমে, বিশেষ করে মেট্রোলজি, পরিদর্শন এবং অ্যালাইনমেন্ট সরঞ্জামগুলিতে, নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। SiC সিরামিকগুলিতে তাপীয় প্রসারণের সহগ এবং উচ্চ কঠোরতা অত্যন্ত কম থাকে, যা তাপীয় সাইক্লিং বা যান্ত্রিক লোডের মধ্যেও এন্ড ইফেক্টরকে তার কাঠামোগত নির্ভুলতা বজায় রাখতে দেয়। এটি নিশ্চিত করে যে পরিবহনের সময় ওয়েফারগুলি সঠিকভাবে সারিবদ্ধ থাকে, মাইক্রো-স্ক্র্যাচ, মিসঅ্যালাইনমেন্ট বা পরিমাপ ত্রুটির ঝুঁকি কমিয়ে দেয় - যে কারণগুলি সাব-5nm প্রক্রিয়া নোডগুলিতে ক্রমবর্ধমানভাবে গুরুত্বপূর্ণ।

SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টর বৈশিষ্ট্য

1. উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং কঠোরতা

SiC সিরামিকের ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক শক্তি রয়েছে, যার নমনীয় শক্তি প্রায়শই 400 MPa-এর বেশি হয় এবং Vickers-এর কঠোরতা 2000 HV-এর উপরে থাকে। এটি দীর্ঘস্থায়ী ব্যবহারের পরেও যান্ত্রিক চাপ, আঘাত এবং ক্ষয়ক্ষতির প্রতি অত্যন্ত প্রতিরোধী করে তোলে। SiC-এর উচ্চ দৃঢ়তা উচ্চ-গতির ওয়েফার স্থানান্তরের সময় বিচ্যুতিও কমিয়ে দেয়, সঠিক এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য অবস্থান নিশ্চিত করে।

2. চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা

SiC সিরামিকের সবচেয়ে মূল্যবান বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে একটি হল যান্ত্রিক অখণ্ডতা না হারিয়ে অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রা - প্রায়শই নিষ্ক্রিয় বায়ুমণ্ডলে 1600°C পর্যন্ত - সহ্য করার ক্ষমতা। তাদের তাপীয় প্রসারণের কম সহগ (~4.0 x 10⁻⁶ /K) তাপীয় চক্রের অধীনে মাত্রিক স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে, যা CVD, PVD এবং উচ্চ-তাপমাত্রা অ্যানিলিংয়ের মতো অ্যাপ্লিকেশনের জন্য আদর্শ করে তোলে।

SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টর প্রশ্নোত্তর

প্রশ্ন: ওয়েফার এন্ড ইফেক্টরে কোন উপাদান ব্যবহার করা হয়?

ক:ওয়েফার এন্ড ইফেক্টরগুলি সাধারণত এমন উপকরণ দিয়ে তৈরি করা হয় যা উচ্চ শক্তি, তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং কম কণা উৎপাদন প্রদান করে। এর মধ্যে, সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক হল সবচেয়ে উন্নত এবং পছন্দের উপকরণগুলির মধ্যে একটি। SiC সিরামিকগুলি অত্যন্ত শক্ত, তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল, রাসায়নিকভাবে জড় এবং পরিধান প্রতিরোধী, যা এগুলিকে পরিষ্কার ঘর এবং ভ্যাকুয়াম পরিবেশে সূক্ষ্ম সিলিকন ওয়েফার পরিচালনার জন্য আদর্শ করে তোলে। কোয়ার্টজ বা প্রলিপ্ত ধাতুর তুলনায়, SiC উচ্চ তাপমাত্রায় উচ্চতর মাত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে এবং কণা ঝরায় না, যা দূষণ প্রতিরোধে সহায়তা করে।