SiC সিরামিক ফর্ক আর্ম / এন্ড ইফেক্টর - সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য উন্নত নির্ভুলতা হ্যান্ডলিং

ছোট বিবরণ:

SiC সিরামিক ফর্ক আর্ম, যা প্রায়শই সিরামিক এন্ড ইফেক্টর নামে পরিচিত, একটি উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন নির্ভুল হ্যান্ডলিং উপাদান যা বিশেষভাবে উচ্চ-প্রযুক্তি শিল্পে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক উৎপাদনের মধ্যে ওয়েফার পরিবহন, সারিবদ্ধকরণ এবং অবস্থান নির্ধারণের জন্য তৈরি করা হয়েছে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ব্যবহার করে তৈরি, এই উপাদানটি ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক শক্তি, অতি-নিম্ন তাপীয় প্রসারণ এবং তাপীয় শক এবং ক্ষয়ের উচ্চতর প্রতিরোধের সমন্বয় করে।


ফিচার

বিস্তারিত চিত্র

4_副本
3_副本

পণ্যের সংক্ষিপ্ত বিবরণ

SiC সিরামিক ফর্ক আর্ম, যা প্রায়শই সিরামিক এন্ড ইফেক্টর নামে পরিচিত, একটি উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন নির্ভুল হ্যান্ডলিং উপাদান যা বিশেষভাবে উচ্চ-প্রযুক্তি শিল্পে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক উৎপাদনের মধ্যে ওয়েফার পরিবহন, সারিবদ্ধকরণ এবং অবস্থান নির্ধারণের জন্য তৈরি করা হয়েছে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ব্যবহার করে তৈরি, এই উপাদানটি ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক শক্তি, অতি-নিম্ন তাপীয় প্রসারণ এবং তাপীয় শক এবং ক্ষয়ের উচ্চতর প্রতিরোধের সমন্বয় করে।

অ্যালুমিনিয়াম, স্টেইনলেস স্টিল, এমনকি কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি ঐতিহ্যবাহী এন্ড ইফেক্টরের বিপরীতে, SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টরগুলি ভ্যাকুয়াম চেম্বার, ক্লিনরুম এবং কঠোর প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশে অতুলনীয় কর্মক্ষমতা প্রদান করে, যা এগুলিকে পরবর্তী প্রজন্মের ওয়েফার হ্যান্ডলিং রোবটের একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ করে তোলে। দূষণমুক্ত উৎপাদনের ক্রমবর্ধমান চাহিদা এবং চিপ তৈরিতে কঠোর সহনশীলতার সাথে, সিরামিক এন্ড ইফেক্টরের ব্যবহার দ্রুত শিল্পের মান হয়ে উঠছে।

উৎপাদন নীতি

এর বানোয়াটSiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টরউচ্চ-নির্ভুলতা, উচ্চ-বিশুদ্ধতা প্রক্রিয়াগুলির একটি সিরিজ জড়িত যা কর্মক্ষমতা এবং স্থায়িত্ব উভয়ই নিশ্চিত করে। দুটি প্রধান প্রক্রিয়া সাধারণত ব্যবহৃত হয়:

বিক্রিয়া-বন্ধিত সিলিকন কার্বাইড (RB-SiC)

এই প্রক্রিয়ায়, সিলিকন কার্বাইড পাউডার এবং বাইন্ডার দিয়ে তৈরি একটি প্রিফর্ম উচ্চ তাপমাত্রায় (~১৫০০°C) গলিত সিলিকন দিয়ে ঢোকানো হয়, যা অবশিষ্ট কার্বনের সাথে বিক্রিয়া করে একটি ঘন, অনমনীয় SiC-Si কম্পোজিট তৈরি করে। এই পদ্ধতিটি চমৎকার মাত্রিক নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে এবং বৃহৎ আকারের উৎপাদনের জন্য সাশ্রয়ী।

চাপহীন সিন্টার্ড সিলিকন কার্বাইড (SSiC)

SSiC তৈরি করা হয় অতি-সূক্ষ্ম, উচ্চ-বিশুদ্ধতা সম্পন্ন SiC পাউডারকে অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রায় (>2000°C) সিন্টার করে, কোনও অ্যাডিটিভ বা বাইন্ডিং ফেজ ব্যবহার না করে। এর ফলে প্রায় 100% ঘনত্ব এবং SiC উপকরণগুলির মধ্যে সর্বোচ্চ যান্ত্রিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্য সহ একটি পণ্য তৈরি হয়। এটি অতি-সমালোচনামূলক ওয়েফার হ্যান্ডলিং অ্যাপ্লিকেশনের জন্য আদর্শ।

প্রক্রিয়াকরণ পরবর্তী

  • যথার্থ সিএনসি মেশিনিং: উচ্চ সমতলতা এবং সমান্তরালতা অর্জন করে।

  • সারফেস ফিনিশিং: ডায়মন্ড পলিশিং পৃষ্ঠের রুক্ষতা <0.02 µm এ কমিয়ে দেয়।

  • পরিদর্শন: প্রতিটি টুকরো যাচাই করার জন্য অপটিক্যাল ইন্টারফেরোমেট্রি, সিএমএম এবং নন-ডেস্ট্রাকটিভ টেস্টিং ব্যবহার করা হয়।

এই পদক্ষেপগুলি নিশ্চিত করে যেSiC এন্ড ইফেক্টরধারাবাহিক ওয়েফার প্লেসমেন্ট নির্ভুলতা, চমৎকার সমতলতা এবং ন্যূনতম কণা উৎপাদন প্রদান করে।

মূল বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধা

বৈশিষ্ট্য বিবরণ
অতি-উচ্চ কঠোরতা ভিকারের কঠোরতা ২৫০০ এইচভি থেকে বেশি, ক্ষয় এবং চিপিং প্রতিরোধ করে।
নিম্ন তাপীয় প্রসারণ CTE ~4.5×10⁻⁶/K, তাপীয় সাইক্লিংয়ে মাত্রিক স্থিতিশীলতা সক্ষম করে।
রাসায়নিক জড়তা HF, HCl, প্লাজমা গ্যাস এবং অন্যান্য ক্ষয়কারী এজেন্টের বিরুদ্ধে প্রতিরোধী।
চমৎকার তাপীয় শক প্রতিরোধ ক্ষমতা ভ্যাকুয়াম এবং ফার্নেস সিস্টেমে দ্রুত গরম/ঠান্ডা করার জন্য উপযুক্ত।
উচ্চ অনমনীয়তা এবং শক্তি লম্বা ক্যান্টিলিভারযুক্ত কাঁটাচামচ বাহুগুলিকে বিচ্যুতি ছাড়াই সমর্থন করে।
কম গ্যাস নির্গমন অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম (UHV) পরিবেশের জন্য আদর্শ।
ISO ক্লাস ১ ক্লিনরুম রেডি কণা-মুক্ত অপারেশন ওয়েফারের অখণ্ডতা নিশ্চিত করে।

 

অ্যাপ্লিকেশন

SiC সিরামিক ফর্ক আর্ম / এন্ড ইফেক্টর ব্যাপকভাবে এমন শিল্পগুলিতে ব্যবহৃত হয় যেখানে চরম নির্ভুলতা, পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের প্রয়োজন হয়। মূল প্রয়োগের পরিস্থিতিতে অন্তর্ভুক্ত রয়েছে:

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং

  • ডিপোজিশন (CVD, PVD), এচিং (RIE, DRIE), এবং ক্লিনিং সিস্টেমে ওয়েফার লোডিং/আনলোডিং।

  • FOUP, ক্যাসেট এবং প্রক্রিয়া সরঞ্জামের মধ্যে রোবোটিক ওয়েফার পরিবহন।

  • তাপ প্রক্রিয়াকরণ বা অ্যানিলিংয়ের সময় উচ্চ-তাপমাত্রার হ্যান্ডলিং।

ফোটোভোলটাইক কোষ উৎপাদন

  • স্বয়ংক্রিয় লাইনে ভঙ্গুর সিলিকন ওয়েফার বা সৌর স্তরের সূক্ষ্ম পরিবহন।

ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে (FPD) শিল্প

  • OLED/LCD উৎপাদন পরিবেশে বড় কাচের প্যানেল বা সাবস্ট্রেট সরানো।

যৌগিক সেমিকন্ডাক্টর / MEMS

  • GaN, SiC, এবং MEMS ফ্যাব্রিকেশন লাইনে ব্যবহৃত হয় যেখানে দূষণ নিয়ন্ত্রণ এবং অবস্থান নির্ভুলতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

সংবেদনশীল অপারেশনের সময় ত্রুটিমুক্ত, স্থিতিশীল হ্যান্ডলিং নিশ্চিত করার ক্ষেত্রে এর এন্ড ইফেক্টরের ভূমিকা বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ।

কাস্টমাইজেশন ক্ষমতা

আমরা বিভিন্ন সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য ব্যাপক কাস্টমাইজেশন অফার করি:

  • কাঁটাচামচ নকশা: দুই-প্রং, বহু-আঙুল, অথবা বিভক্ত-স্তরের লেআউট।

  • ওয়েফার আকারের সামঞ্জস্যতা: ২” থেকে ১২” ওয়েফার পর্যন্ত।

  • মাউন্টিং ইন্টারফেস: OEM রোবোটিক অস্ত্রের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।

  • পুরুত্ব এবং পৃষ্ঠ সহনশীলতা: মাইক্রোন-স্তরের সমতলতা এবং প্রান্ত বৃত্তাকার উপলব্ধ।

  • অ্যান্টি-স্লিপ বৈশিষ্ট্য: নিরাপদ ওয়েফার গ্রিপের জন্য ঐচ্ছিক পৃষ্ঠের টেক্সচার বা আবরণ।

প্রতিটিসিরামিক এন্ড ইফেক্টরন্যূনতম টুলিং পরিবর্তনের সাথে সুনির্দিষ্ট ফিটমেন্ট নিশ্চিত করার জন্য ক্লায়েন্টদের সাথে সহ-ডিজাইন করা হয়েছে।

প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী (FAQ)

প্রশ্ন ১: এন্ড ইফেক্টর প্রয়োগের জন্য কোয়ার্টজের চেয়ে SiC কীভাবে ভালো?
ক১:যদিও কোয়ার্টজ সাধারণত এর বিশুদ্ধতার জন্য ব্যবহৃত হয়, তবে এর যান্ত্রিক দৃঢ়তার অভাব রয়েছে এবং লোড বা তাপমাত্রার ধাক্কায় এটি ভেঙে যাওয়ার ঝুঁকিতে থাকে। SiC উচ্চতর শক্তি, পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা ডাউনটাইম এবং ওয়েফার ক্ষতির ঝুঁকি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

প্রশ্ন ২: এই সিরামিক ফর্ক আর্ম কি সমস্ত রোবোটিক ওয়েফার হ্যান্ডলারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ?
ক২:হ্যাঁ, আমাদের সিরামিক এন্ড ইফেক্টরগুলি বেশিরভাগ প্রধান ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং সুনির্দিষ্ট ইঞ্জিনিয়ারিং অঙ্কনের মাধ্যমে আপনার নির্দিষ্ট রোবোটিক মডেলের সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়া যেতে পারে।

প্রশ্ন ৩: এটি কি ৩০০ মিমি ওয়েফারগুলিকে ওয়ার্পিং ছাড়াই পরিচালনা করতে পারে?
ক৩:অবশ্যই। SiC-এর উচ্চ দৃঢ়তা এমনকি পাতলা, লম্বা কাঁটাচামচ বাহুগুলিকে 300 মিমি ওয়েফারগুলিকে নিরাপদে ধরে রাখতে সাহায্য করে, গতির সময় ঝুলে যাওয়া বা বিচ্যুতি ছাড়াই।

প্রশ্ন ৪: একটি SiC সিরামিক এন্ড ইফেক্টরের সাধারণ পরিষেবা জীবন কত?
A4:সঠিক ব্যবহারের মাধ্যমে, একটি SiC এন্ড ইফেক্টর ঐতিহ্যবাহী কোয়ার্টজ বা অ্যালুমিনিয়াম মডেলের তুলনায় ৫ থেকে ১০ গুণ বেশি সময় ধরে চলতে পারে, কারণ এটি তাপীয় এবং যান্ত্রিক চাপের বিরুদ্ধে চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা রাখে।

প্রশ্ন ৫: আপনি কি প্রতিস্থাপন বা দ্রুত প্রোটোটাইপিং পরিষেবা প্রদান করেন?
A5:হ্যাঁ, আমরা দ্রুত নমুনা উৎপাদন সমর্থন করি এবং বিদ্যমান সরঞ্জাম থেকে CAD অঙ্কন বা বিপরীত-প্রকৌশলী যন্ত্রাংশের উপর ভিত্তি করে প্রতিস্থাপন পরিষেবা অফার করি।

আমাদের সম্পর্কে

XKH বিশেষ অপটিক্যাল গ্লাস এবং নতুন স্ফটিক উপকরণের উচ্চ-প্রযুক্তির উন্নয়ন, উৎপাদন এবং বিক্রয়ে বিশেষজ্ঞ। আমাদের পণ্যগুলি অপটিক্যাল ইলেকট্রনিক্স, কনজিউমার ইলেকট্রনিক্স এবং সামরিক বাহিনীতে পরিবেশন করে। আমরা স্যাফায়ার অপটিক্যাল উপাদান, মোবাইল ফোন লেন্স কভার, সিরামিক, LT, সিলিকন কার্বাইড SIC, কোয়ার্টজ এবং সেমিকন্ডাক্টর স্ফটিক ওয়েফার অফার করি। দক্ষ দক্ষতা এবং অত্যাধুনিক সরঞ্জামের সাহায্যে, আমরা অ-মানক পণ্য প্রক্রিয়াকরণে দক্ষতা অর্জন করি, একটি শীর্ষস্থানীয় অপটোইলেকট্রনিক উপকরণ উচ্চ-প্রযুক্তি উদ্যোগ হওয়ার লক্ষ্যে।

৫৬৭

  • আগে:
  • পরবর্তী:

  • আপনার বার্তা এখানে লিখুন এবং আমাদের কাছে পাঠান।