সরঞ্জামের জন্য CVD SiC আবরণ সহ SiC সিরামিক ট্রে প্লেট গ্রাফাইট

সিলিকন কার্বাইড সিরামিকগুলি শুধুমাত্র পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন পর্যায়ে ব্যবহার করা হয় না, যেমন এপিটাক্সি বা MOCVD, বা ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে, যার কেন্দ্রস্থলে MOCVD-এর জন্য ওয়েফার ক্যারিয়ার ট্রে প্রথমে জমা পরিবেশের অধীন হয়, এবং তাই এটি অত্যন্ত প্রতিরোধী তাপ এবং জারা।SiC-প্রলিপ্ত বাহকগুলির উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপীয়তা রয়েছে বিতরণ বৈশিষ্ট্য।

বিশুদ্ধ রাসায়নিক বাষ্প জমা সিলিকন কার্বাইড (CVD SiC) উচ্চ তাপমাত্রার ধাতব জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD) প্রক্রিয়াকরণের জন্য ওয়েফার ক্যারিয়ার।

বিশুদ্ধ CVD SiC ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলি এই প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত প্রচলিত ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলির থেকে উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত, যেগুলি গ্রাফাইট এবং CVD SiC-এর একটি স্তর দিয়ে প্রলিপ্ত৷ এই প্রলিপ্ত গ্রাফাইট-ভিত্তিক বাহকগুলি আজকের উচ্চ উজ্জ্বলতা নীল এবং সাদা নেতৃত্বের GaN জমার জন্য প্রয়োজনীয় উচ্চ তাপমাত্রা (1100 থেকে 1200 ডিগ্রি সেলসিয়াস) সহ্য করতে পারে না। উচ্চ তাপমাত্রার কারণে আবরণটি ছোট ছোট পিনহোল তৈরি করে যার মাধ্যমে প্রক্রিয়াজাত রাসায়নিকগুলি গ্রাফাইটকে ক্ষয় করে। গ্রাফাইট কণাগুলি তখন ফ্লেক হয়ে GaN কে দূষিত করে, যার ফলে প্রলিপ্ত ওয়েফার ক্যারিয়ার প্রতিস্থাপিত হয়।

CVD SiC এর বিশুদ্ধতা 99.999% বা তার বেশি এবং উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং তাপীয় শক প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে। অতএব, এটি উচ্চ উজ্জ্বলতা LED উত্পাদনের উচ্চ তাপমাত্রা এবং কঠোর পরিবেশ সহ্য করতে পারে। এটি একটি কঠিন মনোলিথিক উপাদান যা তাত্ত্বিক ঘনত্বে পৌঁছায়, ন্যূনতম কণা তৈরি করে এবং খুব উচ্চ ক্ষয় এবং ক্ষয় প্রতিরোধের প্রদর্শন করে। উপাদান ধাতব অমেধ্য প্রবর্তন ছাড়াই অস্বচ্ছতা এবং পরিবাহিতা পরিবর্তন করতে পারে। ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলি সাধারণত 17 ইঞ্চি ব্যাস এবং 40 2-4 ইঞ্চি পর্যন্ত ওয়েফার ধারণ করতে পারে।