SiC সাবস্ট্রেট P-টাইপ 4H/6H-P 3C-N 4 ইঞ্চি 350um পুরুত্ব সহ উৎপাদন গ্রেড ডামি গ্রেড
৪ ইঞ্চি SiC সাবস্ট্রেট P-টাইপ 4H/6H-P 3C-N প্যারামিটার টেবিল
4 ইঞ্চি ব্যাস সিলিকনকার্বাইড (SiC) সাবস্ট্রেট স্পেসিফিকেশন
শ্রেণী | জিরো এমপিডি প্রোডাকশন গ্রেড (Z) শ্রেণী) | স্ট্যান্ডার্ড উৎপাদন গ্রেড (পি) শ্রেণী) | ডামি গ্রেড (D শ্রেণী) | ||
ব্যাস | ৯৯.৫ মিমি~১০০.০ মিমি | ||||
বেধ | ৩৫০ মাইক্রোমিটার ± ২৫ মাইক্রোমিটার | ||||
ওয়েফার ওরিয়েন্টেশন | অক্ষের বাইরে: [11] এর দিকে 2.0°-4.0°20] 4H/6H- এর জন্য ± 0.5°P, On অক্ষ: 3C-N এর জন্য 〈111〉± 0.5° | ||||
মাইক্রোপাইপের ঘনত্ব | ০ সেমি-২ | ||||
প্রতিরোধ ক্ষমতা | পি-টাইপ 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏসেমি | ≤0.3 Ωꞏসেমি | ||
n-টাইপ 3C-N | ≤0.8 মিΩꞏসেমি | ≤1 মি Ωꞏসেমি | |||
প্রাথমিক ফ্ল্যাট ওরিয়েন্টেশন | ৪ ঘন্টা/৬ ঘন্টা-পি | - {১০১০} ± ৫.০° | |||
3C-N সম্পর্কে | - {১১০} ± ৫.০° | ||||
প্রাথমিক ফ্ল্যাট দৈর্ঘ্য | ৩২.৫ মিমি ± ২.০ মিমি | ||||
সেকেন্ডারি ফ্ল্যাট দৈর্ঘ্য | ১৮.০ মিমি ± ২.০ মিমি | ||||
সেকেন্ডারি ফ্ল্যাট ওরিয়েন্টেশন | সিলিকন ফেস আপ: প্রাইম ফ্ল্যাট থেকে ৯০° CW।±৫.০° | ||||
এজ এক্সক্লুশন | ৩ মিমি | ৬ মিমি | |||
এলটিভি/টিটিভি/ধনুক/ওয়ার্প | ≤২.৫ মাইক্রোমিটার/≤5 মাইক্রোমিটার/≤১৫ মাইক্রোমিটার/≤৩০ মাইক্রোমিটার | ≤১০ মাইক্রোমিটার/≤১৫ মাইক্রোমিটার/≤২৫ মাইক্রোমিটার/≤৪০ মাইক্রোমিটার | |||
রুক্ষতা | পোলিশ Ra≤1 nm | ||||
সিএমপি রা≤০.২ এনএম | Ra≤0.5 nm | ||||
উচ্চ তীব্রতার আলোর কারণে প্রান্ত ফাটল | কোনটিই নয় | ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য ≤ 10 মিমি, একক দৈর্ঘ্য ≤2 মিমি | |||
উচ্চ তীব্রতার আলো দ্বারা হেক্স প্লেট | ক্রমবর্ধমান ক্ষেত্রফল ≤0.05% | ক্রমবর্ধমান ক্ষেত্রফল ≤0.1% | |||
উচ্চ তীব্রতার আলো দ্বারা পলিটাইপ এলাকা | কোনটিই নয় | ক্রমবর্ধমান ক্ষেত্রফল≤3% | |||
ভিজ্যুয়াল কার্বন অন্তর্ভুক্তি | ক্রমবর্ধমান ক্ষেত্রফল ≤0.05% | ক্রমবর্ধমান ক্ষেত্রফল ≤3% | |||
উচ্চ তীব্রতার আলোর কারণে সিলিকন পৃষ্ঠের স্ক্র্যাচ | কোনটিই নয় | ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য≤1×ওয়েফার ব্যাস | |||
তীব্র আলো দ্বারা এজ চিপস উচ্চ | ≥0.2 মিমি প্রস্থ এবং গভীরতা অনুমোদিত নয় | ৫টি অনুমোদিত, প্রতিটি ≤১ মিমি | |||
উচ্চ তীব্রতা দ্বারা সিলিকন পৃষ্ঠ দূষণ | কোনটিই নয় | ||||
প্যাকেজিং | মাল্টি-ওয়েফার ক্যাসেট বা একক ওয়েফার ধারক |
নোট:
※ক্রটি সীমা প্রান্ত বর্জন এলাকা ব্যতীত সমগ্র ওয়েফার পৃষ্ঠের জন্য প্রযোজ্য। # শুধুমাত্র Si মুখের উপর স্ক্র্যাচ পরীক্ষা করা উচিত।
৩৫০ μm পুরুত্বের P-টাইপ 4H/6H-P 3C-N 4-ইঞ্চি SiC সাবস্ট্রেটটি উন্নত ইলেকট্রনিক এবং পাওয়ার ডিভাইস তৈরিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, উচ্চ ব্রেকডাউন ভোল্টেজ এবং চরম পরিবেশের প্রতি শক্তিশালী প্রতিরোধ ক্ষমতা সহ, এই সাবস্ট্রেটটি উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স যেমন উচ্চ-ভোল্টেজ সুইচ, ইনভার্টার এবং RF ডিভাইসের জন্য আদর্শ। উৎপাদন-গ্রেড সাবস্ট্রেটগুলি বৃহৎ আকারের উৎপাদনে ব্যবহৃত হয়, যা নির্ভরযোগ্য, উচ্চ-নির্ভুলতা ডিভাইস কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে, যা পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স এবং উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। অন্যদিকে, ডামি-গ্রেড সাবস্ট্রেটগুলি মূলত প্রক্রিয়া ক্রমাঙ্কন, সরঞ্জাম পরীক্ষা এবং প্রোটোটাইপ বিকাশের জন্য ব্যবহৃত হয়, যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে মান নিয়ন্ত্রণ এবং প্রক্রিয়ার ধারাবাহিকতা বজায় রাখতে সহায়তা করে।
স্পেসিফিকেশন N-টাইপ SiC কম্পোজিট সাবস্ট্রেটের সুবিধার মধ্যে রয়েছে
- উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা: দক্ষ তাপ অপচয় উচ্চ-তাপমাত্রা এবং উচ্চ-শক্তি প্রয়োগের জন্য সাবস্ট্রেটকে আদর্শ করে তোলে।
- উচ্চ ব্রেকডাউন ভোল্টেজ: উচ্চ-ভোল্টেজ অপারেশন সমর্থন করে, পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স এবং আরএফ ডিভাইসগুলিতে নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।
- কঠোর পরিবেশের প্রতিরোধ: উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশের মতো চরম পরিস্থিতিতে টেকসই, দীর্ঘস্থায়ী কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে।
- উৎপাদন-গ্রেড নির্ভুলতা: উন্নত শক্তি এবং আরএফ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত, বৃহৎ-স্কেল উৎপাদনে উচ্চ-মানের এবং নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে।
- পরীক্ষার জন্য ডামি-গ্রেড: উৎপাদন-গ্রেড ওয়েফারের সাথে আপস না করেই সঠিক প্রক্রিয়া ক্রমাঙ্কন, সরঞ্জাম পরীক্ষা এবং প্রোটোটাইপিং সক্ষম করে।
সামগ্রিকভাবে, ৩৫০ μm পুরুত্বের P-টাইপ 4H/6H-P 3C-N 4-ইঞ্চি SiC সাবস্ট্রেট উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন ইলেকট্রনিক অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উল্লেখযোগ্য সুবিধা প্রদান করে। এর উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং ব্রেকডাউন ভোল্টেজ এটিকে উচ্চ-শক্তি এবং উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশের জন্য আদর্শ করে তোলে, অন্যদিকে কঠোর অবস্থার প্রতি এর প্রতিরোধ স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে। উৎপাদন-গ্রেড সাবস্ট্রেট পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স এবং RF ডিভাইসের বৃহৎ আকারের উৎপাদনে সুনির্দিষ্ট এবং ধারাবাহিক কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে। এদিকে, ডামি-গ্রেড সাবস্ট্রেট প্রক্রিয়া ক্রমাঙ্কন, সরঞ্জাম পরীক্ষা এবং প্রোটোটাইপিংয়ের জন্য অপরিহার্য, যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে মান নিয়ন্ত্রণ এবং ধারাবাহিকতা সমর্থন করে। এই বৈশিষ্ট্যগুলি SiC সাবস্ট্রেটগুলিকে উন্নত অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অত্যন্ত বহুমুখী করে তোলে।
বিস্তারিত চিত্র

