সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেল (SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল)
বিস্তারিত চিত্র
পণ্যের সংক্ষিপ্ত বিবরণ
উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন বিক্রিয়া-বন্ডেড সিলিকন কার্বাইড (RBSiC) থেকে তৈরি সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেল, সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ওয়েফার লোডিং এবং হ্যান্ডলিং সিস্টেমে ব্যবহৃত একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান।
ঐতিহ্যবাহী কোয়ার্টজ বা গ্রাফাইট প্যাডেলের তুলনায়, SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি উচ্চতর যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ কঠোরতা, কম তাপীয় প্রসারণ এবং অসাধারণ জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে। তারা উচ্চ তাপমাত্রার অধীনে চমৎকার কাঠামোগত স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, বড় ওয়েফার আকার, বর্ধিত পরিষেবা জীবন এবং অতি-নিম্ন দূষণের কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
বৃহত্তর ওয়েফার ব্যাস, উচ্চতর থ্রুপুট এবং পরিষ্কার প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশের দিকে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির ক্রমাগত বিকাশের সাথে, SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি ধীরে ধীরে প্রচলিত উপকরণগুলিকে প্রতিস্থাপন করেছে, যা ডিফিউশন ফার্নেস, LPCVD এবং সম্পর্কিত উচ্চ-তাপমাত্রার সরঞ্জামগুলির জন্য পছন্দের পছন্দ হয়ে উঠেছে।
পণ্যের বৈশিষ্ট্য
-
চমৎকার উচ্চ-তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা
-
বিকৃতি ছাড়াই ১০০০-১৩০০℃ তাপমাত্রায় নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করে।
-
সর্বোচ্চ পরিষেবা তাপমাত্রা ১৩৮০℃ পর্যন্ত।
-
-
উচ্চ ভার বহন ক্ষমতা
-
বাঁকানোর শক্তি 250-280 MPa পর্যন্ত, কোয়ার্টজ প্যাডেলগুলির চেয়ে অনেক বেশি।
-
বড় ব্যাসের ওয়েফার (৩০০ মিমি এবং তার বেশি) পরিচালনা করতে সক্ষম।
-
-
বর্ধিত পরিষেবা জীবন এবং কম রক্ষণাবেক্ষণ
-
নিম্ন তাপীয় প্রসারণ সহগ (৪.৫ × ১০⁻⁶ K⁻¹), LPCVD আবরণ উপকরণের সাথে সুসংগত।
-
চাপ-সৃষ্ট ফাটল এবং খোসা ছাড়ানো কমায়, পরিষ্কার এবং রক্ষণাবেক্ষণ চক্র উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত করে।
-
-
জারা প্রতিরোধ এবং বিশুদ্ধতা
-
অ্যাসিড এবং ক্ষার প্রতিরোধের চমৎকার।
-
ঘন মাইক্রোস্ট্রাকচার যার খোলা ছিদ্র <0.1%, কণা উৎপাদন এবং অপরিষ্কারতা নির্গমন কমিয়ে দেয়।
-
-
অটোমেশন-সামঞ্জস্যপূর্ণ নকশা
-
উচ্চ মাত্রিক নির্ভুলতা সহ স্থিতিশীল ক্রস-বিভাগীয় জ্যামিতি।
-
রোবোটিক ওয়েফার লোডিং এবং আনলোডিং সিস্টেমের সাথে নির্বিঘ্নে সংহত হয়, সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় উৎপাদন সক্ষম করে।
-
ভৌত ও রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য
| আইটেম | ইউনিট | উপাত্ত |
|---|---|---|
| সর্বোচ্চ পরিষেবা তাপমাত্রা | ℃ | ১৩৮০ |
| ঘনত্ব | গ্রাম/সেমি³ | ৩.০৪ – ৩.০৮ |
| ওপেন পোরোসিটি | % | < ০.১ |
| নমন শক্তি | এমপিএ | ২৫০ (২০ ডিগ্রি), ২৮০ (১২০০ ডিগ্রি) |
| স্থিতিস্থাপকতার মডুলাস | জিপিএ | ৩৩০ (২০ ℃), ৩০০ (১২০০ ℃) |
| তাপীয় পরিবাহিতা | প্রস্থ/মিটার·কে | ৪৫ (১২০০℃) |
| তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ | কে⁻¹×১০⁻⁶ | ৪.৫ |
| ভিকার্স কঠোরতা | এইচভি২ | ≥ ২১০০ |
| অ্যাসিড/ক্ষারীয় প্রতিরোধ ক্ষমতা | - | চমৎকার |
-
স্ট্যান্ডার্ড দৈর্ঘ্য:২৩৭৮ মিমি, ২৫৫০ মিমি, ২৬৬০ মিমি
-
অনুরোধের ভিত্তিতে কাস্টম মাত্রা উপলব্ধ
অ্যাপ্লিকেশন
-
সেমিকন্ডাক্টর শিল্প
-
LPCVD (নিম্ন চাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা)
-
বিস্তার প্রক্রিয়া (ফসফরাস, বোরন, ইত্যাদি)
-
তাপীয় জারণ
-
-
ফটোভোলটাইক শিল্প
-
পলিসিলিকন এবং মনোক্রিস্টালাইন ওয়েফারের বিস্তার এবং আবরণ
-
উচ্চ-তাপমাত্রা অ্যানিলিং এবং প্যাসিভেশন
-
-
অন্যান্য ক্ষেত্র
-
উচ্চ-তাপমাত্রা ক্ষয়কারী পরিবেশ
-
দীর্ঘ সেবা জীবন এবং কম দূষণের প্রয়োজন এমন নির্ভুল ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেম।
-
গ্রাহক সুবিধা
-
কম পরিচালন খরচ– কোয়ার্টজ প্যাডেলের তুলনায় দীর্ঘ জীবনকাল, ডাউনটাইম এবং প্রতিস্থাপনের ফ্রিকোয়েন্সি কমিয়ে আনা।
-
উচ্চ ফলন- অত্যন্ত কম দূষণ ওয়েফার পৃষ্ঠের পরিষ্কারতা নিশ্চিত করে এবং ত্রুটির হার হ্রাস করে।
-
ভবিষ্যৎ-প্রমাণ– বৃহৎ ওয়েফার আকার এবং পরবর্তী প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
-
উন্নত উৎপাদনশীলতা- রোবোটিক অটোমেশন সিস্টেমের সাথে সম্পূর্ণ সামঞ্জস্যপূর্ণ, উচ্চ-ভলিউম উৎপাদন সমর্থন করে।
প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী – সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেল
প্রশ্ন ১: সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেল কী?
উত্তর: এটি একটি ওয়েফার সাপোর্ট এবং হ্যান্ডলিং উপাদান যা রিঅ্যাকশন-বন্ডেড সিলিকন কার্বাইড (RBSiC) দিয়ে তৈরি। এটি ডিফিউশন ফার্নেস, LPCVD এবং অন্যান্য উচ্চ-তাপমাত্রার সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
প্রশ্ন ২: কোয়ার্টজ প্যাডেলের পরিবর্তে SiC কেন বেছে নেবেন?
উত্তর: কোয়ার্টজ প্যাডেলের তুলনায়, SiC প্যাডেলগুলি অফার করে:
-
উচ্চতর যান্ত্রিক শক্তি এবং ভার বহন ক্ষমতা
-
১৩৮০ ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত তাপমাত্রায় উন্নত তাপীয় স্থিতিশীলতা
-
অনেক দীর্ঘ পরিষেবা জীবন এবং রক্ষণাবেক্ষণ চক্র কম
-
কণা উৎপাদন এবং দূষণের ঝুঁকি কম
-
বৃহত্তর ওয়েফার আকারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ (৩০০ মিমি এবং তার বেশি)
প্রশ্ন ৩: SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল কোন আকারের ওয়েফার সমর্থন করতে পারে?
উত্তর: ২৩৭৮ মিমি, ২৫৫০ মিমি এবং ২৬৬০ মিমি ফার্নেস সিস্টেমের জন্য স্ট্যান্ডার্ড প্যাডেল পাওয়া যায়। ৩০০ মিমি এবং তার বেশি পর্যন্ত ওয়েফার সমর্থন করার জন্য কাস্টমাইজড মাত্রা পাওয়া যায়।
আমাদের সম্পর্কে
XKH বিশেষ অপটিক্যাল গ্লাস এবং নতুন স্ফটিক উপকরণের উচ্চ-প্রযুক্তির উন্নয়ন, উৎপাদন এবং বিক্রয়ে বিশেষজ্ঞ। আমাদের পণ্যগুলি অপটিক্যাল ইলেকট্রনিক্স, কনজিউমার ইলেকট্রনিক্স এবং সামরিক বাহিনীতে পরিবেশন করে। আমরা স্যাফায়ার অপটিক্যাল উপাদান, মোবাইল ফোন লেন্স কভার, সিরামিক, LT, সিলিকন কার্বাইড SIC, কোয়ার্টজ এবং সেমিকন্ডাক্টর স্ফটিক ওয়েফার অফার করি। দক্ষ দক্ষতা এবং অত্যাধুনিক সরঞ্জামের সাহায্যে, আমরা অ-মানক পণ্য প্রক্রিয়াকরণে দক্ষতা অর্জন করি, একটি শীর্ষস্থানীয় অপটোইলেকট্রনিক উপকরণ উচ্চ-প্রযুক্তি উদ্যোগ হওয়ার লক্ষ্যে।











