সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফার নৌকা
বিস্তারিত চিত্র
কোয়ার্টজ গ্লাসের সংক্ষিপ্ত বিবরণ
সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফার নৌকা হল একটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া বাহক যা উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC উপাদান দিয়ে তৈরি, যা এপিট্যাক্সি, জারণ, প্রসারণ এবং অ্যানিলিংয়ের মতো গুরুত্বপূর্ণ উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারগুলিকে ধরে রাখার এবং পরিবহনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর এবং প্রশস্ত ব্যান্ডগ্যাপ ডিভাইসের দ্রুত বিকাশের সাথে সাথে, প্রচলিত কোয়ার্টজ নৌকাগুলি উচ্চ তাপমাত্রায় বিকৃতি, তীব্র কণা দূষণ এবং স্বল্প পরিষেবা জীবনের মতো সীমাবদ্ধতার মুখোমুখি হয়। উচ্চতর তাপীয় স্থিতিশীলতা, কম দূষণ এবং বর্ধিত জীবনকাল সমন্বিত SiC ওয়েফার নৌকাগুলি ক্রমবর্ধমানভাবে কোয়ার্টজ নৌকাগুলিকে প্রতিস্থাপন করছে এবং SiC ডিভাইস তৈরিতে পছন্দের পছন্দ হয়ে উঠছে।
মূল বৈশিষ্ট্য
1. উপাদান সুবিধা
-
উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC থেকে তৈরি, যার সাথেউচ্চ কঠোরতা এবং শক্তি.
-
২৭০০°C এর উপরে গলনাঙ্ক, কোয়ার্টজের চেয়ে অনেক বেশি, যা চরম পরিবেশে দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
2. তাপীয় বৈশিষ্ট্য
-
দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ স্থানান্তরের জন্য উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, ওয়েফারের চাপ কমিয়ে আনে।
-
তাপীয় প্রসারণ (CTE) সহগ SiC সাবস্ট্রেটের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে মিলে যায়, যা ওয়েফারের নমন এবং ফাটল হ্রাস করে।
৩. রাসায়নিক স্থিতিশীলতা
-
উচ্চ তাপমাত্রা এবং বিভিন্ন বায়ুমণ্ডলে (H₂, N₂, Ar, NH₃, ইত্যাদি) স্থিতিশীল।
-
চমৎকার জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা, পচন এবং কণা তৈরি রোধ করে।
৪. প্রক্রিয়া কর্মক্ষমতা
-
মসৃণ এবং ঘন পৃষ্ঠ কণা ঝরে পড়া এবং দূষণ কমায়।
-
দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের পরে মাত্রিক স্থিতিশীলতা এবং লোড ক্ষমতা বজায় রাখে।
৫. খরচ দক্ষতা
-
কোয়ার্টজ নৌকার তুলনায় ৩-৫ গুণ বেশি পরিষেবা জীবন।
-
রক্ষণাবেক্ষণের ফ্রিকোয়েন্সি কমানো, ডাউনটাইম এবং প্রতিস্থাপন খরচ কমানো।
অ্যাপ্লিকেশন
-
SiC এপিট্যাক্সি: উচ্চ-তাপমাত্রার এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির সময় 4-ইঞ্চি, 6-ইঞ্চি এবং 8-ইঞ্চি SiC সাবস্ট্রেটকে সমর্থন করে।
-
পাওয়ার ডিভাইস তৈরি: SiC MOSFET, Schottky Barrier Diodes (SBDs), IGBTs এবং অন্যান্য ডিভাইসের জন্য আদর্শ।
-
তাপীয় চিকিৎসা: অ্যানিলিং, নাইট্রিডেশন এবং কার্বনাইজেশন প্রক্রিয়া।
-
জারণ এবং প্রসারণ: উচ্চ-তাপমাত্রার জারণ এবং প্রসারণের জন্য স্থিতিশীল ওয়েফার সাপোর্ট প্ল্যাটফর্ম।
কারিগরি বিবরণ
| আইটেম | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| উপাদান | উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড (SiC) |
| ওয়েফার আকার | ৪-ইঞ্চি / ৬-ইঞ্চি / ৮-ইঞ্চি (কাস্টমাইজযোগ্য) |
| সর্বোচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রা। | ≤ ১৮০০°সে |
| তাপীয় সম্প্রসারণ CTE | ৪.২ × ১০⁻⁶ /K (SiC সাবস্ট্রেটের কাছাকাছি) |
| তাপীয় পরিবাহিতা | ১২০-২০০ ওয়াট/মিটার·কে |
| পৃষ্ঠের রুক্ষতা | রা < ০.২ μm |
| সমান্তরালতা | ±0.1 মিমি |
| সেবা জীবন | কোয়ার্টজ নৌকার চেয়ে ≥ 3× লম্বা |
তুলনা: কোয়ার্টজ নৌকা বনাম SiC নৌকা
| মাত্রা | কোয়ার্টজ নৌকা | SiC নৌকা |
|---|---|---|
| তাপমাত্রা প্রতিরোধ | ≤ ১২০০°C, উচ্চ তাপমাত্রায় বিকৃতি। | ≤ ১৮০০°C, তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল |
| SiC এর সাথে CTE ম্যাচ | বড় অমিল, ওয়েফার স্ট্রেসের ঝুঁকি | মিল বন্ধ করে, ওয়েফার ক্র্যাকিং কমায় |
| কণা দূষণ | উচ্চ, অমেধ্য উৎপন্ন করে | নিচু, মসৃণ এবং ঘন পৃষ্ঠ |
| সেবা জীবন | সংক্ষিপ্ত, ঘন ঘন প্রতিস্থাপন | দীর্ঘ, ৩-৫× দীর্ঘ জীবনকাল |
| উপযুক্ত প্রক্রিয়া | প্রচলিত সি এপিট্যাক্সি | SiC এপিট্যাক্সি এবং পাওয়ার ডিভাইসের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে |
প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী – সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফার নৌকা
১. SiC ওয়েফার নৌকা কী?
একটি SiC ওয়েফার নৌকা হল একটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া বাহক যা উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড দিয়ে তৈরি। এটি এপিট্যাক্সি, জারণ, প্রসারণ এবং অ্যানিলিংয়ের মতো উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফার ধরে রাখতে এবং পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়। ঐতিহ্যবাহী কোয়ার্টজ নৌকার তুলনায়, SiC ওয়েফার নৌকাগুলি উচ্চতর তাপীয় স্থিতিশীলতা, কম দূষণ এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন প্রদান করে।
২. কোয়ার্টজ বোটের পরিবর্তে SiC ওয়েফার বোট কেন বেছে নেবেন?
-
উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা: কোয়ার্টজ (≤১২০০°C) বনাম ১৮০০°C পর্যন্ত স্থিতিশীল।
-
আরও ভালো CTE ম্যাচ: SiC সাবস্ট্রেটের কাছাকাছি, ওয়েফারের চাপ এবং ফাটল কমিয়ে দেয়।
-
নিম্ন কণা উৎপাদন: মসৃণ, ঘন পৃষ্ঠ দূষণ কমায়।
-
দীর্ঘ জীবনকাল: কোয়ার্টজ নৌকার তুলনায় ৩-৫ গুণ বেশি লম্বা, মালিকানার খরচ কম।
৩. SiC ওয়েফার নৌকাগুলি কোন আকারের ওয়েফার সমর্থন করতে পারে?
আমরা স্ট্যান্ডার্ড ডিজাইন প্রদান করি৪-ইঞ্চি, ৬-ইঞ্চি, এবং ৮-ইঞ্চিগ্রাহকের চাহিদা মেটাতে সম্পূর্ণ কাস্টমাইজেশন সহ ওয়েফার।
৪. SiC ওয়েফার বোট সাধারণত কোন কোন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়?
-
SiC এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি
-
পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস উৎপাদন (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
-
উচ্চ-তাপমাত্রার অ্যানিলিং, নাইট্রিডেশন এবং কার্বনাইজেশন
-
জারণ এবং বিস্তার প্রক্রিয়া
আমাদের সম্পর্কে
XKH বিশেষ অপটিক্যাল গ্লাস এবং নতুন স্ফটিক উপকরণের উচ্চ-প্রযুক্তির উন্নয়ন, উৎপাদন এবং বিক্রয়ে বিশেষজ্ঞ। আমাদের পণ্যগুলি অপটিক্যাল ইলেকট্রনিক্স, কনজিউমার ইলেকট্রনিক্স এবং সামরিক বাহিনীতে পরিবেশন করে। আমরা স্যাফায়ার অপটিক্যাল উপাদান, মোবাইল ফোন লেন্স কভার, সিরামিক, LT, সিলিকন কার্বাইড SIC, কোয়ার্টজ এবং সেমিকন্ডাক্টর স্ফটিক ওয়েফার অফার করি। দক্ষ দক্ষতা এবং অত্যাধুনিক সরঞ্জামের সাহায্যে, আমরা অ-মানক পণ্য প্রক্রিয়াকরণে দক্ষতা অর্জন করি, একটি শীর্ষস্থানীয় অপটোইলেকট্রনিক উপকরণ উচ্চ-প্রযুক্তি উদ্যোগ হওয়ার লক্ষ্যে।










