সিলিকন / সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফার ফোর-স্টেজ লিঙ্কড পলিশিং অটোমেশন লাইন (ইন্টিগ্রেটেড পোস্ট-পোলিশ হ্যান্ডলিং লাইন)

এই ফোর-স্টেজ লিঙ্কড পলিশিং অটোমেশন লাইনটি একটি সমন্বিত, ইন-লাইন সমাধান যা ডিজাইন করা হয়েছেপোলিশ-পরবর্তী / সিএমপি-পরবর্তীএর কার্যক্রমসিলিকনএবংসিলিকন কার্বাইড (SiC)ওয়েফার। চারপাশে নির্মিতসিরামিক বাহক (সিরামিক প্লেট), সিস্টেমটি একাধিক ডাউনস্ট্রিম কাজকে একটি সমন্বিত লাইনে একত্রিত করে - কারখানাগুলিকে ম্যানুয়াল হ্যান্ডলিং কমাতে, কাজের সময় স্থিতিশীল করতে এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ জোরদার করতে সহায়তা করে।

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে,সিএমপি-পরবর্তী কার্যকর পরিষ্কারকরণপরবর্তী প্রক্রিয়ার আগে ত্রুটি কমাতে একটি গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ হিসেবে ব্যাপকভাবে স্বীকৃত, এবং উন্নত পদ্ধতি (যার মধ্যে রয়েছেমেগাসনিক পরিষ্কারকরণ) সাধারণত কণা অপসারণ কর্মক্ষমতা উন্নত করার জন্য আলোচনা করা হয়।

বিশেষ করে SiC-এর জন্য, এরউচ্চ কঠোরতা এবং রাসায়নিক জড়তাপলিশিংকে চ্যালেঞ্জিং করে তোলে (প্রায়শই কম উপাদান অপসারণের হার এবং পৃষ্ঠ/পৃষ্ঠের ক্ষতির ঝুঁকি বেশি), যা পলিশ-পরবর্তী স্থিতিশীল অটোমেশন এবং নিয়ন্ত্রিত পরিষ্কার/পরিচালনাকে বিশেষভাবে মূল্যবান করে তোলে।