অতি-নির্ভুল SiC এয়ার-বিয়ারিং স্টেজ

ছোট বিবরণ:

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের ক্রমাগত বিবর্তনের সাথে সাথে, প্রক্রিয়াকরণ এবং পরিদর্শন সরঞ্জামগুলির কর্মক্ষমতা আরও বেশি হওয়ার দাবি রয়েছে। গতি নিয়ন্ত্রণ এবং ন্যানোমিটার-স্তরের অবস্থান নির্ধারণে ব্যাপক দক্ষতার উপর ভিত্তি করে, আমরা একটি সমতল H-টাইপ ডুয়াল-অক্ষ অতি-নির্ভুল বায়ু-বহনকারী পর্যায় তৈরি করেছি।

আমাদের ইমেইল পাঠান

ফিচার

বিস্তারিত চিত্র

সংক্ষিপ্ত বিবরণ

একটি সসীম-উপাদান-অপ্টিমাইজড সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক কাঠামো এবং ক্ষতিপূরণপ্রাপ্ত বায়ু-বহন প্রযুক্তির সাহায্যে তৈরি, এই মঞ্চটি অসাধারণ নির্ভুলতা, দৃঢ়তা এবং গতিশীল প্রতিক্রিয়া প্রদান করে। এটি আদর্শভাবে নিম্নলিখিতগুলির জন্য উপযুক্ত:

সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াজাতকরণ এবং পরিদর্শন
মাইক্রো/ন্যানো তৈরি এবং পরিমাপবিদ্যা
ন্যানোমিটার-স্কেল ফ্লাই-কাটিং এবং পলিশিং
উচ্চ-গতির নির্ভুল স্ক্যানিং

মূল বৈশিষ্ট্য

SiC এয়ার-বেয়ারিং গাইডওয়েঅতি-উচ্চ কঠোরতা এবং নির্ভুলতার জন্য
উচ্চ গতিশীলতা: ১ মি/সেকেন্ড পর্যন্ত বেগ, ৪ গ্রাম পর্যন্ত ত্বরণ, দ্রুত স্থিরকরণ
ডুয়াল-ড্রাইভ গ্যান্ট্রি Y-অক্ষউচ্চ লোড ক্ষমতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে
এনকোডার বিকল্পগুলি: অপটিক্যাল গ্রেটিং বা লেজার ইন্টারফেরোমিটার
অবস্থান নির্ভুলতা: ±0.15 μm;পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা: ±৭৫ এনএম
অপ্টিমাইজড কেবল রাউটিংপরিষ্কার নকশা এবং দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতার জন্য
কাস্টমাইজযোগ্য কনফিগারেশনঅ্যাপ্লিকেশন-নির্দিষ্ট প্রয়োজনের জন্য

অতি-নির্ভুল নকশা এবং সরাসরি-ড্রাইভ, যোগাযোগবিহীন স্থাপত্য

SiC সিরামিক ফ্রেম: ~5× অ্যালুমিনিয়াম খাদের কঠোরতা এবং ~5× কম তাপীয় প্রসারণ, উচ্চ-গতির স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় দৃঢ়তা নিশ্চিত করে।
ক্ষতিপূরণপ্রাপ্ত এয়ার-বিয়ারিং: মালিকানাধীন নকশা দৃঢ়তা, ভার ক্ষমতা এবং গতির স্থায়িত্ব বৃদ্ধি করে।
গতিশীল কর্মক্ষমতা: ১ মি/সেকেন্ড বেগ এবং ৪ গ্রাম ত্বরণ সমর্থন করে, যা উচ্চ-থ্রুপুট প্রক্রিয়ার জন্য আদর্শ।
নিরবচ্ছিন্ন ইন্টিগ্রেশন: ভাইব্রেশন আইসোলেশন সিস্টেম, রোটারি স্টেজ, টিল্ট মডিউল এবং ওয়েফার হ্যান্ডলিং প্ল্যাটফর্মের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
কেবল ব্যবস্থাপনা: নিয়ন্ত্রিত বাঁকানো ব্যাসার্ধ দীর্ঘস্থায়ী পরিষেবা জীবনের জন্য চাপ কমায়।

কোরলেস লিনিয়ার মোটর: শূন্য কগিং বল সহ মসৃণ গতি।
মাল্টি-মোটর ড্রাইভ: লোড-প্লেন মোটর প্লেসমেন্ট সোজা, সমতল এবং কৌণিক নির্ভুলতা উন্নত করে।
তাপীয় বিচ্ছিন্নতা: মোটরগুলিকে স্টেজ স্ট্রাকচার থেকে আলাদা করা হয়; উচ্চ-শুল্ক চক্রের জন্য ঐচ্ছিক বায়ু বা জল শীতলকরণ।

স্পেসিফিকেশন

মডেল	৪০০-৪০০	৫০০-৫০০	৬০০-৬০০
অক্ষ	X (স্ক্যান) / Y (ধাপ)	X (স্ক্যান) / Y (ধাপ)	X (স্ক্যান) / Y (ধাপ)
ভ্রমণ (মিমি)	৪০০/৪০০	৫০০/৫০০	৬০০/৬০০
নির্ভুলতা (μm)	±০.১৫	±০.২	±০.২
পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা (nm)	±৭৫	±১০০	±১০০
রেজোলিউশন (nm)	০.৩	০.৩	০.৩
সর্বোচ্চ গতি (মি/সেকেন্ড)	1	1	1
ত্বরণ (ছ)	4	4	4
সরলতা (μm)	±০.২	±০.৩	±০.৪
স্থিতিশীলতা (nm)	±৫	±৫	±৫
সর্বোচ্চ লোড (কেজি)	20	20	20
পিচ/রোল/ইয়াও (আর্ক-সেকেন্ড)	±১	±১	±১

পরীক্ষার শর্তাবলী:

বায়ু সরবরাহ: পরিষ্কার, শুষ্ক; শিশির বিন্দু ≤ 0°F; কণা পরিস্রাবণ ≤ 0.25 μm; অথবা 99.99% নাইট্রোজেন।
স্টেজ সেন্টারের উপরে 25 মিমি উপরে 20±1 °C তাপমাত্রায়, 40-60% RH-তে নির্ভুলতা পরিমাপ করা হয়েছে।

অ্যাপ্লিকেশন

সেমিকন্ডাক্টর লিথোগ্রাফি, পরিদর্শন এবং ওয়েফার হ্যান্ডলিং
মাইক্রো/ন্যানো তৈরি এবং নির্ভুল পরিমাপবিদ্যা
উচ্চমানের অপটিক্স উৎপাদন এবং ইন্টারফেরোমেট্রি
মহাকাশ এবং উন্নত বৈজ্ঞানিক গবেষণা

প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী – সিলিকন কার্বাইড এয়ার-বিয়ারিং স্টেজ

১. বায়ু বহনকারী পর্যায় কী?

একটি বায়ু-বহনকারী মঞ্চ মঞ্চ এবং গাইডওয়ের মধ্যে চাপযুক্ত বাতাসের একটি পাতলা আবরণ ব্যবহার করেঘর্ষণহীন, পরিধান-মুক্ত, এবং অতি-মসৃণ গতিপ্রচলিত যান্ত্রিক বিয়ারিংগুলির বিপরীতে, এটি স্টিক-স্লিপ দূর করে, ন্যানোমিটার-স্তরের নির্ভুলতা প্রদান করে এবং দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতা সমর্থন করে।

2. মঞ্চের কাঠামোর জন্য কেন সিলিকন কার্বাইড (SiC) ব্যবহার করবেন?

উচ্চ কঠোরতা: অ্যালুমিনিয়াম খাদের ~5×, গতিশীল গতির সময় বিকৃতি কমিয়ে দেয়।
কম তাপীয় প্রসারণ: অ্যালুমিনিয়ামের চেয়ে ~৫× কম, তাপমাত্রার তারতম্যের মধ্যে নির্ভুলতা বজায় রাখে।
হালকা: ইস্পাতের তুলনায় কম ঘনত্ব, উচ্চ-গতি এবং উচ্চ-ত্বরণ পরিচালনা সক্ষম করে।
চমৎকার স্থিতিশীলতা: অতি-নির্ভুল অবস্থানের জন্য উচ্চতর স্যাঁতসেঁতেতা এবং অনমনীয়তা।

৩. মঞ্চটির কি তৈলাক্তকরণ বা রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজন?

কোন ঐতিহ্যবাহী তৈলাক্তকরণের প্রয়োজন নেই কারণ আছেকোন যান্ত্রিক যোগাযোগ নেইপ্রস্তাবিত রক্ষণাবেক্ষণের মধ্যে রয়েছে:

সরবরাহপরিষ্কার, শুষ্ক সংকুচিত বাতাস বা নাইট্রোজেন
ফিল্টার এবং ড্রায়ারের পর্যায়ক্রমিক পরিদর্শন
তার এবং কুলিং সিস্টেম পর্যবেক্ষণ করা

৪. বায়ু সরবরাহের প্রয়োজনীয়তাগুলি কী কী?

শিশির বিন্দু: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
কণা পরিস্রাবণ: ≤ 0.25 μm
পরিষ্কার, শুষ্ক বাতাস অথবা ৯৯.৯৯% বিশুদ্ধ নাইট্রোজেন
ন্যূনতম ওঠানামা সহ স্থিতিশীল চাপ

আমাদের সম্পর্কে

XKH বিশেষ অপটিক্যাল গ্লাস এবং নতুন স্ফটিক উপকরণের উচ্চ-প্রযুক্তির উন্নয়ন, উৎপাদন এবং বিক্রয়ে বিশেষজ্ঞ। আমাদের পণ্যগুলি অপটিক্যাল ইলেকট্রনিক্স, কনজিউমার ইলেকট্রনিক্স এবং সামরিক বাহিনীতে পরিবেশন করে। আমরা স্যাফায়ার অপটিক্যাল উপাদান, মোবাইল ফোন লেন্স কভার, সিরামিক, LT, সিলিকন কার্বাইড SIC, কোয়ার্টজ এবং সেমিকন্ডাক্টর স্ফটিক ওয়েফার অফার করি। দক্ষ দক্ষতা এবং অত্যাধুনিক সরঞ্জামের সাহায্যে, আমরা অ-মানক পণ্য প্রক্রিয়াকরণে দক্ষতা অর্জন করি, একটি শীর্ষস্থানীয় অপটোইলেকট্রনিক উপকরণ উচ্চ-প্রযুক্তি উদ্যোগ হওয়ার লক্ষ্যে।