স্ফটিক ওরিয়েন্টেশন পরিমাপের জন্য ওয়েফার ওরিয়েন্টেশন সিস্টেম

একটি ওয়েফার ওরিয়েন্টেশন যন্ত্র হল একটি উচ্চ-নির্ভুলতা ডিভাইস যা এক্স-রে ডিফ্র্যাকশন নীতি ব্যবহার করে স্ফটিকগ্রাফিক ওরিয়েন্টেশন নির্ধারণ করে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন এবং পদার্থ বিজ্ঞান প্রক্রিয়াগুলিকে অপ্টিমাইজ করে। এর মূল উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে একটি এক্স-রে উৎস (যেমন, Cu-Kα, 0.154 nm তরঙ্গদৈর্ঘ্য), একটি নির্ভুলতা গনিওমিটার (কৌণিক রেজোলিউশন ≤0.001°), এবং ডিটেক্টর (CCD বা সিন্টিলেশন কাউন্টার)। নমুনাগুলি ঘোরানো এবং বিবর্তন প্যাটার্ন বিশ্লেষণ করে, এটি ±30 আর্কসেকেন্ড নির্ভুলতার সাথে স্ফটিকগ্রাফিক সূচক (যেমন, 100, 111) এবং ল্যাটিস স্পেসিং গণনা করে। সিস্টেমটি স্বয়ংক্রিয় ক্রিয়াকলাপ, ভ্যাকুয়াম ফিক্সেশন এবং মাল্টি-অক্ষ ঘূর্ণন সমর্থন করে, ওয়েফার প্রান্ত, রেফারেন্স প্লেন এবং এপিট্যাক্সিয়াল স্তর সারিবদ্ধকরণের দ্রুত পরিমাপের জন্য 2-8-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। মূল অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে রয়েছে কাটিং-ওরিয়েন্টেড সিলিকন কার্বাইড, নীলকান্তমণি ওয়েফার এবং টারবাইন ব্লেড উচ্চ-তাপমাত্রা কর্মক্ষমতা যাচাইকরণ, সরাসরি চিপের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য এবং ফলন বৃদ্ধি করে।