শিরোনাম: চিপ তৈরিতে FOUP কী?​​

সুচিপত্র

১. FOUP এর সংক্ষিপ্তসার এবং মূল কার্যাবলী

২. FOUP এর গঠন এবং নকশা বৈশিষ্ট্য

৩. FOUP এর শ্রেণীবিভাগ এবং প্রয়োগ নির্দেশিকা

৪. সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে FOUP এর কার্যকারিতা এবং গুরুত্ব

৫.​কারিগরি চ্যালেঞ্জ এবং ভবিষ্যৎ উন্নয়নের প্রবণতা​

৬.XKH এর কাস্টমাইজড সমাধান এবং পরিষেবা সহায়তা

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, ফ্রন্ট ওপেনিং ইউনিফাইড পড (FOUP) হল একটি গুরুত্বপূর্ণ ধারক যা ওয়েফারগুলিকে সুরক্ষা, পরিবহন এবং সংরক্ষণের জন্য ব্যবহৃত হয়। এর অভ্যন্তরে 300 মিমি ওয়েফারের 25 টি টুকরো থাকতে পারে এবং এর প্রধান উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে একটি সামনের খোলার পাত্র এবং খোলা এবং বন্ধ করার জন্য একটি ডেডিকেটেড দরজার ফ্রেম। FOUP হল 12 ইঞ্চি ওয়েফার ফ্যাবগুলির মধ্যে স্বয়ংক্রিয় পরিবহন ব্যবস্থার একটি মূল বাহক। এটি সাধারণত একটি বন্ধ অবস্থায় পরিবহন করা হয় এবং শুধুমাত্র সরঞ্জাম লোড পোর্টে ঠেলে খোলা হয়, যার ফলে ওয়েফারগুলিকে সরঞ্জামের লোডিং/আনলোডিং পোর্টে স্থানান্তর করা যায়।

FOUP-এর নকশাটি মাইক্রো-এনভায়রনমেন্টের প্রয়োজনীয়তার সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়া হয়েছে। এর পিছনে ওয়েফার সন্নিবেশের জন্য স্লট রয়েছে এবং ঢাকনাটি বিশেষভাবে ওপেনারের ক্ল্যাম্পের সাথে মেলে ডিজাইন করা হয়েছে। ওয়েফার-হ্যান্ডলিং রোবটগুলি ক্লাস 1 পরিষ্কার বায়ু পরিবেশে কাজ করে, নিশ্চিত করে যে ট্রান্সমিশনের সময় ওয়েফারগুলি দূষিত না হয়। তদুপরি, FOUP একটি স্বয়ংক্রিয় উপাদান হ্যান্ডলিং সিস্টেম (AMHS) এর মাধ্যমে প্রক্রিয়া সরঞ্জামগুলির মধ্যে স্থানান্তরিত হয়। আধুনিক ওয়েফার ফ্যাবগুলি বেশিরভাগই পরিবহনের জন্য ওভারহেড রেল সিস্টেম ব্যবহার করে, যখন কিছু পুরানো ফ্যাব স্থল-ভিত্তিক স্বয়ংক্রিয় নির্দেশিত যানবাহন (AGV) ব্যবহার করতে পারে।

FOUP কেবল স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার স্থানান্তরই সম্ভব করে না বরং স্টোরেজ ফাংশনও প্রদান করে। উৎপাদনের অসংখ্য ধাপের কারণে, ওয়েফারগুলির সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া সম্পন্ন করতে কয়েক মাস সময় লাগতে পারে। উচ্চ মাসিক উৎপাদনের পরিমাণের সাথে মিলিত হয়ে, এর অর্থ হল একটি কারখানার মধ্যে হাজার হাজার ওয়েফার যেকোনো সময় ক্রমাগত পরিবহন বা অস্থায়ীভাবে সংরক্ষণ করা হয়। সংরক্ষণের সময়, FOUPগুলিকে পর্যায়ক্রমে নাইট্রোজেন দিয়ে পরিষ্কার করা হয় যাতে দূষণকারীরা ওয়েফারগুলির সাথে যোগাযোগ করতে না পারে, যা একটি পরিষ্কার এবং নির্ভরযোগ্য উৎপাদন প্রক্রিয়া নিশ্চিত করে।

১. FOUP এর কার্যাবলী এবং গুরুত্ব

FOUP-এর মূল কাজ হল ওয়েফারগুলিকে বহিরাগত শক এবং দূষণ থেকে রক্ষা করা, বিশেষ করে স্থানান্তরের সময় ফলনের উপর প্রভাব এড়ানো। এটি গ্যাস পরিশোধন এবং স্থানীয় বায়ুমণ্ডল নিয়ন্ত্রণ (LAC) এর মতো পদ্ধতির মাধ্যমে কার্যকরভাবে আর্দ্রতা প্রতিরোধ করে, পরবর্তী উৎপাদন পদক্ষেপের অপেক্ষায় ওয়েফারগুলি নিরাপদ অবস্থায় থাকে তা নিশ্চিত করে। এর সিল করা এবং নিয়ন্ত্রিত সিস্টেমটি কেবলমাত্র প্রয়োজনীয় যৌগ এবং উপাদানগুলিকে প্রবেশ করতে দেয়, যা ওয়েফারগুলিতে VOC, অক্সিজেন এবং আর্দ্রতার প্রতিকূল প্রভাব উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

যেহেতু ২৫টি ওয়েফার দিয়ে পূর্ণাঙ্গভাবে লোড করা একটি FOUP ৯ কিলোগ্রাম পর্যন্ত ওজনের হতে পারে, তাই এর পরিবহনের জন্য একটি স্বয়ংক্রিয় উপাদান হ্যান্ডলিং সিস্টেম (AMHS) ব্যবহার করতে হবে। এটি সহজ করার জন্য, FOUP বিভিন্ন ধরণের কাপলিং প্লেট, পিন এবং গর্তের সমন্বয়ে তৈরি করা হয়েছে এবং সহজে সনাক্তকরণ এবং শ্রেণীবিভাগের জন্য RFID ইলেকট্রনিক ট্যাগ দিয়ে সজ্জিত। এই স্বয়ংক্রিয় হ্যান্ডলিংয়ে প্রায় কোনও ম্যানুয়াল অপারেশনের প্রয়োজন হয় না, যা ত্রুটির হারকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করে এবং উৎপাদন প্রক্রিয়ার নিরাপত্তা এবং নির্ভুলতা বৃদ্ধি করে।

২. FOUP এর গঠন এবং শ্রেণীবিভাগ

একটি FOUP-এর সাধারণ মাত্রা হল প্রায় ৪২০ মিমি প্রস্থ, ৩৩৫ মিমি গভীরতা এবং ৩৩৫ মিমি উচ্চতা। এর প্রধান কাঠামোগত উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে: ওভারহেড হোস্ট পরিবহনের জন্য একটি শীর্ষ OHT (মাশরুম হেড); সরঞ্জাম ওয়েফার অ্যাক্সেসের জন্য একটি সামনের দরজা; পাশের হাতল, যা প্রায়শই বিভিন্ন দূষণের স্তর সহ প্রক্রিয়া এলাকাগুলিকে আলাদা করার জন্য রঙিন কোড করা হয়; বার্তা কার্ড স্থাপনের জন্য একটি কার্ড এলাকা; এবং নীচের একটি RFID ট্যাগ যা FOUP-এর জন্য অনন্য শনাক্তকারী হিসাবে কাজ করে, যা সরঞ্জাম এবং ওভারহেড হোস্টগুলিকে এটি সনাক্ত করতে দেয়। সরঞ্জামগুলির সাথে মেলানোর জন্য এবং প্রক্রিয়া এলাকাগুলিকে আলাদা করার জন্য বেসটিতে চারটি সনাক্তকরণ এবং অবস্থান নির্ধারণের গর্তও রয়েছে।

ব্যবহারের উপর ভিত্তি করে, FOUP গুলিকে তিন প্রকারে শ্রেণীবদ্ধ করা হয়েছে: PRD (উৎপাদনের জন্য), ENG (ইঞ্জিনিয়ারিং ওয়েফারের জন্য), এবং MON (মনিটর ওয়েফারের জন্য)। PRD FOUP গুলি পণ্য উৎপাদনের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে, ENG প্রকারগুলি R&D বা পরীক্ষার জন্য উপযুক্ত, এবং MON প্রকারগুলি CMP এবং DIFF এর মতো পদক্ষেপগুলির জন্য প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণের জন্য নিবেদিত। এটি মনে রাখা গুরুত্বপূর্ণ যে PRD FOUP গুলি ENG এবং MON উভয় উদ্দেশ্যেই ব্যবহার করা যেতে পারে, এবং ENG প্রকারগুলি MON এর জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে, তবে বিপরীত ক্রিয়াকলাপ মানের ঝুঁকি তৈরি করে।

দূষণের মাত্রা অনুসারে শ্রেণীবদ্ধ, FOUPগুলিকে FE FOUP (ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়া, ধাতু-মুক্ত), BE FOUP (ব্যাক-এন্ড প্রক্রিয়া, ধাতু ধারণ করে), এবং NI FOUP, CU FOUP, এবং CO FOUP এর মতো নির্দিষ্ট ধাতব প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষায়িত FOUPগুলিতে ভাগ করা যেতে পারে। বিভিন্ন প্রক্রিয়ার জন্য FOUPগুলি সাধারণত পাশের হাতল বা দরজার প্যানেলের রঙ দ্বারা আলাদা করা হয়। ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়া থেকে FOUPগুলি ব্যাক-এন্ড প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহার করা যেতে পারে, তবে ব্যাক-এন্ড FOUPগুলি কখনই ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহার করা উচিত নয়, কারণ এটি দূষণের ঝুঁকি তৈরি করতে পারে।

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে একটি গুরুত্বপূর্ণ বাহক হিসেবে, FOUP, উচ্চ অটোমেশন এবং কঠোর দূষণ নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে, উৎপাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের নিরাপত্তা এবং পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে, যা এটিকে আধুনিক ওয়েফার কারখানাগুলিতে একটি অপরিহার্য অবকাঠামোতে পরিণত করে।

উপসংহার

XKH গ্রাহকদের অত্যন্ত কাস্টমাইজড ফ্রন্ট-ওপেনিং ইউনিফাইড পড (FOUP) সমাধান প্রদানের জন্য প্রতিশ্রুতিবদ্ধ, আপনার নির্দিষ্ট প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা এবং সরঞ্জাম ইন্টারফেসের স্পেসিফিকেশন কঠোরভাবে মেনে চলে। উন্নত উপাদান প্রযুক্তি এবং নির্ভুল উৎপাদন প্রক্রিয়া ব্যবহার করে, আমরা নিশ্চিত করি যে প্রতিটি FOUP পণ্য ব্যতিক্রমী বায়ুরোধীতা, পরিচ্ছন্নতা এবং যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে। আমাদের প্রযুক্তিগত দলের গভীর শিল্প দক্ষতা রয়েছে, যা নির্বাচন পরামর্শ এবং কাঠামোগত অপ্টিমাইজেশন থেকে শুরু করে পরিষ্কার এবং রক্ষণাবেক্ষণ পর্যন্ত ব্যাপক জীবনচক্র সহায়তা প্রদান করে - FOUP এবং আপনার অটোমেটেড ম্যাটেরিয়াল হ্যান্ডলিং সিস্টেম (AMHS) এবং প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামের মধ্যে নিরবচ্ছিন্ন একীকরণ এবং দক্ষ সহযোগিতা নিশ্চিত করে। আমরা ধারাবাহিকভাবে ওয়েফারের নিরাপত্তা এবং উৎপাদন ফলন বৃদ্ধিকে আমাদের মূল লক্ষ্য হিসেবে অগ্রাধিকার দিই। উদ্ভাবনী পণ্য এবং সর্বাত্মক প্রযুক্তিগত পরিষেবার মাধ্যমে, আমরা আপনার সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ার জন্য একটি শক্তিশালী গ্যারান্টি প্রদান করি, যা শেষ পর্যন্ত উৎপাদন দক্ষতা এবং পণ্যের ফলন বৃদ্ধি করে।