ভেজা খোদাই

ওয়েট এচিংয়ে বিশেষ রাসায়নিক দ্রবণ ব্যবহার করে নীলকান্তমণি উপাদান নির্বাচন করে অপসারণ করা হয় এবং পছন্দসই মাইক্রোস্ট্রাকচার তৈরি করা হয়। এই প্রক্রিয়াটি উচ্চ থ্রুপুট, ভাল অভিন্নতা এবং তুলনামূলকভাবে কম প্রক্রিয়াকরণ খরচ প্রদান করে, যা এটিকে বৃহৎ-ক্ষেত্রের প্যাটার্নিং এবং মাঝারি সাইডওয়াল প্রোফাইল প্রয়োজনীয়তা সহ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।

দ্রবণের গঠন, তাপমাত্রা এবং খোদাইয়ের সময় সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করে, খোদাইয়ের গভীরতা এবং পৃষ্ঠের আকারবিদ্যার স্থিতিশীল নিয়ন্ত্রণ অর্জন করা যেতে পারে। ওয়েট-এচড নীলকান্তমণি ওয়েফারগুলি LED প্যাকেজিং সাবস্ট্রেট, স্ট্রাকচারাল সাপোর্ট লেয়ার এবং নির্বাচিত MEMS অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

শুকনো খোদাই

প্লাজমা এচিং বা রিঅ্যাকটিভ আয়ন এচিং (RIE) এর মতো ড্রাই এচিং, ভৌত ও রাসায়নিক প্রক্রিয়ার মাধ্যমে নীলকান্ত খোদাই করার জন্য উচ্চ-শক্তি আয়ন বা রিঅ্যাকটিভ প্রজাতি ব্যবহার করে। এই পদ্ধতিটি উচ্চতর অ্যানিসোট্রপি, উচ্চ নির্ভুলতা এবং চমৎকার প্যাটার্ন স্থানান্তর ক্ষমতা প্রদান করে, যা সূক্ষ্ম বৈশিষ্ট্য এবং উচ্চ-আসপেক্ট-রেশিও মাইক্রোস্ট্রাকচার তৈরি করতে সক্ষম করে।

শুকনো খোদাই বিশেষভাবে সেইসব অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত যেখানে উল্লম্ব পার্শ্ব প্রাচীর, তীক্ষ্ণ বৈশিষ্ট্য সংজ্ঞা এবং কঠোর মাত্রিক নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন, যেমন মাইক্রো-এলইডি ডিভাইস, উন্নত সেমিকন্ডাক্টর প্যাকেজিং এবং উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন MEMS কাঠামো।